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| 化学机械抛光液的研究进展 期刊论文 表面技术, 2019, 卷号: 48, 页码: 1-10,23 作者: 孟凡宁; 张振宇; 郜培丽; 孟祥东; 刘健 收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2019/12/02
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| 表面活性剂复配对蓝宝石CMP后清洗效果的影响 期刊论文 微纳电子技术, 2019, 卷号: 56, 期号: 2, 页码: 151-156 作者: 韦嘉辉[1]; 周海[2]; 高晗[3]; 梁志强[4] 收藏  |  浏览/下载:12/0  |  提交时间:2019/12/24
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| 含水膜单晶铜磨料磨损的分子动力学计算 无文献类型 作者: 张亚楠 收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2019/11/19
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| YAG晶体的固结磨料研磨与化学机械抛光工艺研究 学位论文 : 大连理工大学, 2018 作者: 安润莉 收藏  |  浏览/下载:4/0  |  提交时间:2019/12/02
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| 大径厚比纯铜零件的化学机械抛光试验研究 学位论文 : 大连理工大学, 2018 作者: 万策 收藏  |  浏览/下载:6/0  |  提交时间:2019/12/02
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| 铜的化学机械抛光液研究 学位论文 : 大连理工大学, 2018 作者: 于志坚 收藏  |  浏览/下载:2/0  |  提交时间:2019/12/02
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| 大径厚比铜片的化学机械抛光 期刊论文 金刚石与磨料磨具工程, 2018, 卷号: 38, 页码: 81-85 作者: 万策; 金洙吉; 吴頔; 刘作涛; 司立坤 收藏  |  浏览/下载:5/0  |  提交时间:2019/12/02
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| 抛光垫特性对氧化镓CMP影响的实验研究 期刊论文 工具技术, 2018, 期号: 06, 页码: 29-32 作者: 龚凯[1]; 周海[2]; 韦嘉辉[3]; 宋放[4]; 王晨宇[5] 收藏  |  浏览/下载:5/0  |  提交时间:2019/12/24
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| 在线电解修整磨削与化学机械抛光相结合的蓝宝石基片组合加工技术 期刊论文 中国机械工程, 2018, 卷号: 第29卷 第11期, 页码: 1310-1315 作者: 徐志强; 尹韶辉; 姜胜强; 朱科军 收藏  |  浏览/下载:3/0  |  提交时间:2019/12/26
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| 抛光垫非线性压缩行为研究 学位论文 : 大连理工大学, 2017 作者: 何东山 收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2019/12/03
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