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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Structure design of AlN double-ended tuning fork resonators 期刊论文 Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 2017, 卷号: 10605, 页码: 1060518 作者:  LEI Qiang , 高扬;  GAO Yang;  Han Chao 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2019/08/29 micro-sensors  AlN DETF  sensitivity  signal power   Structure design of a high-performance aluminum nitride differential resonant accelerometer 期刊论文 Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 2017, 卷号: 10605, 页码: 1060519 作者:  Lei, Qiang;  Gao Y(高扬);  Gao, Yang;  Zhang, Da-Peng 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2019/08/29 resonant accelerometer  aluminium nitride  microleverage  supporting beam  differential frequency detection   Structure design of AlN double-ended tuning fork resonators 期刊论文 Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 2017, 卷号: 10605, 页码: 1060518 作者:  LEI Qiang , 高扬;  GAO Yang;  Han Chao 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2019/08/27 micro-sensors  AlN DETF  sensitivity  signal power   Structure design of a high-performance aluminum nitride differential resonant accelerometer 期刊论文 Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 2017, 卷号: 10605, 页码: 1060519 作者:  Lei, Qiang;  Gao Y(高扬);  Gao, Yang;  Zhang, Da-Peng 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2019/08/27 resonant accelerometer  aluminium nitride  microleverage  supporting beam  differential frequency detection