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科研机构
西安交通大学 [8]
西安光学精密机械研究... [1]
内容类型
期刊论文 [9]
发表日期
2004 [1]
2002 [3]
2001 [2]
1999 [3]
学科主题
光学 [1]
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磁控溅射镀膜中工作气压对沉积速率的影响
期刊论文
真空, 2004, 卷号: 41, 期号: 1, 页码: 9-12
王璘
;
余欧明
;
杭凌侠
;
赵保平
;
王忠厚
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浏览/下载:73/3
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提交时间:2010/01/12
脉冲真空电弧离子镀沉积速率的研究
期刊论文
表面技术, 2002, 期号: 6, 页码: 27-29
作者:
蔡长龙
;
王季梅
;
弥谦
;
杭凌侠
;
严一心
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2020/01/07
脉冲电弧
类金刚石薄膜
沉积速率
类金刚石薄膜硬度的研究
期刊论文
表面技术, 2002, 期号: 3, 页码: 9-11
作者:
蔡长龙
;
王季梅
;
杭凌侠
;
严一心
;
徐均琪
收藏
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浏览/下载:0/0
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提交时间:2020/01/07
脉冲电弧
工艺参数
类金刚石薄膜
硬度
脉冲电弧离子源镀膜均匀性的研究
期刊论文
低压电器, 2002, 期号: 4, 页码: 14-16
作者:
蔡长龙
;
王季梅
;
杭凌侠
;
严一心
;
徐均琪
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2020/01/07
脉冲电弧
均匀性
薄膜沉积
几何尺寸
脉冲真空电弧离子镀发射特性的测量
期刊论文
光学仪器, 2001, 期号: 5, 页码: 49-52
作者:
蔡长龙
;
朱昌
;
杭凌侠
;
李刚
;
徐均琪
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2020/01/07
薄膜沉积
离子源
膜厚测量
磁场对脉冲离子源镀膜均匀性的影响
期刊论文
真空电子技术, 2001, 期号: 4, 页码: 5-7
作者:
蔡长龙
;
王季梅
;
严一心
;
杭凌侠
;
刘卫国
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2020/01/07
薄膜沉积
脉冲电弧
磁场
离子源
均匀性
脉冲多弧离子镀沉积类金刚石薄膜的牢固度研究
期刊论文
西安工业学院学报, 1999, 期号: 3, 页码: 177-181
作者:
喻志农
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提交时间:2020/01/07
牢固度
脉冲多弧离子镀
工艺条件
类金刚石薄膜
脉冲多弧离子镀制备类金刚石薄膜的结构分析
期刊论文
西安工业学院学报, 1999, 期号: 4, 页码: 265-268
作者:
喻志农
;
朱昌
;
杭凌侠
;
严一心
;
孙鉴
收藏
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提交时间:2020/01/07
结构性能
脉冲多弧离子镀
薄膜形貌
类金刚石薄膜
脉冲多弧离子镀技术制备的类金刚石薄膜的硬度及电阻率
期刊论文
真空电子技术, 1999, 期号: 4, 页码: 50-55
作者:
喻志农
;
朱昌
;
杭凌侠
;
严一心
收藏
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提交时间:2020/01/07
薄膜性能
脉冲多弧离子镀
工艺参数
类金刚石薄膜
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