| 脉冲电弧离子源镀膜均匀性的研究 | |
| 蔡长龙; 王季梅; 杭凌侠; 严一心; 徐均琪 | |
| 刊名 | 低压电器
 |
| 2002 | |
| 期号 | 4页码:14-16 |
| 关键词 | 脉冲电弧 均匀性 薄膜沉积 几何尺寸 |
| ISSN号 | 1001-5531 |
| DOI | 10.3969/j.issn.1001-5531.2002.04.004 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6608338 |
| 专题 | 西安交通大学 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 蔡长龙,王季梅,杭凌侠,等. 脉冲电弧离子源镀膜均匀性的研究[J]. 低压电器,2002(4):14-16. |
| APA | 蔡长龙,王季梅,杭凌侠,严一心,&徐均琪.(2002).脉冲电弧离子源镀膜均匀性的研究.低压电器(4),14-16. |
| MLA | 蔡长龙,et al."脉冲电弧离子源镀膜均匀性的研究".低压电器 .4(2002):14-16. |
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