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Ti/Al过渡层对共掺杂类金刚石薄膜性能的影响 期刊论文
表面技术, 2019, 卷号: 48, 页码: 268-275
作者:  周永[1];  孔翠翠[2];  李晓伟[3];  孙丽丽[4];  郭鹏[5]
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