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	Ti/Al过渡层对共掺杂类金刚石薄膜性能的影响
	周永[1]; 孔翠翠[2]; 李晓伟[3]; 孙丽丽[4]; 郭鹏[5]; 周佳[6]; 李玉宏[7]; 李文献[8]; 汪爱英[9]; 柯培玲[10]
刊名	表面技术
	2019
卷号	48页码:268-275
关键词	类金刚石薄膜 Ti-Al共掺杂 过渡层 结合力 残余应力 机械性能
ISSN号	1001-3660
URL标识	查看原文
内容类型	期刊论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2163926
专题	上海大学
作者单位	1.[1]上海大学 材料科学与工程学院 材料所,上海 200072 2.中国科学院宁波材料技术与工程 研究所 中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室 浙江省海洋材料与防护技术重点实验室, 浙江 宁波 315201[2]中国科学院宁波材料技术与工程 研究所 中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室 浙江省海洋材料与防护技术重点实验室,浙江 宁波,315201[3]中国科学院宁波材料技术与工程 研究所 中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室 浙江省海洋材料与防护技术重点实验室,浙江 宁波,315201[4]中国科学院宁波材料技术与工程 研究所 中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室 浙江省海洋材料与防护技术重点实验室,浙江 宁波,315201[5]中国科学院宁波材料技术与工程 研究所 中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室 浙江省海洋材料与防护技术重点实验室,浙江 宁波,315201[6]上海大学 材料科学与工程学院 材料所,上海 200072 3.中国科学院宁波材料技术与工程 研究所 中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室 浙江省海洋材料与防护技术重点实验室, 浙江 宁波 315201[7]酒泉职业技术学院 甘肃省太阳能发电系统工程重点实验室, 甘肃 酒泉 735000 4.酒泉新能源研究院,甘肃 酒泉 735000[8]上海大学 材料科学与工程学院 材料所,上海,200072[9]中国科学院宁波材料技术与工程 研究所 中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室 浙江省海洋材料与防护技术重点实验室,浙江 宁波,315201[10]中国科学院宁波材料技术与工程 研究所 中国科学院海洋新材料与应用技术重点实验室 浙江省海洋材料与防护技术重点实验室,浙江 宁波,315201
推荐引用方式 GB/T 7714	周永[1],孔翠翠[2],李晓伟[3],等. Ti/Al过渡层对共掺杂类金刚石薄膜性能的影响[J]. 表面技术,2019,48:268-275.
APA	周永[1].,孔翠翠[2].,李晓伟[3].,孙丽丽[4].,郭鹏[5].,...&柯培玲[10].(2019).Ti/Al过渡层对共掺杂类金刚石薄膜性能的影响.表面技术,48,268-275.
MLA	周永[1],et al."Ti/Al过渡层对共掺杂类金刚石薄膜性能的影响".表面技术 48(2019):268-275.

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