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Aerosol Jet Printing of Graphene and Carbon Nanotube Patterns on Realistically Rugged Substrates
期刊论文
ACS OMEGA, 2021, 页码: 13
作者:
Kaindl, Reinhard
;
Gupta, Tushar
;
Bluemel, Alexander
;
Pei, Songfeng
;
Hou, Peng-Xiang
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浏览/下载:22/0
  |  
提交时间:2022/01/27
Scheduling Dual-Arm Cluster Tools With Multiple Wafer Types and Residency Time Constraints
期刊论文
IEEE/CAA Journal of Automatica Sinica, 2020, 卷号: 7, 期号: 3, 页码: 776-789
作者:
Jipeng Wang
;
Hesuan Hu
;
Chunrong Pan
;
Yuan Zhou
;
Liang Li
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浏览/下载:13/0
  |  
提交时间:2021/03/11
Cluster tools
multiple wafer types
scheduling
semiconductor manufacturing
wafer fabrication
Investigation of Evolution Processes of Wafer Profiles With Edge Over Erosion in Copper CMP
期刊论文
IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING, 2017, 卷号: 30, 期号: 1, 页码: 69-77
作者:
Wu, Lixiao
;
Hahn, Sookap
;
Yan, Changfeng
收藏
  |  
浏览/下载:7/0
  |  
提交时间:2019/11/15
Wafer profiles
edge over erosion
copper CMP
Investigation of evolution processes of wafer profiles with edge over erosion in copper CMP
期刊论文
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, 2017, 卷号: 30, 期号: 1, 页码: 69-77
作者:
Wu, Lixiao
;
Hahn, Sookap
;
Yan, Changfeng
收藏
  |  
浏览/下载:15/0
  |  
提交时间:2020/11/14
Copper
Linear systems
Polishing
Textile printing
Copper CMP
Evolution process
Frequency components
Pattern density
Pattern structure
Polishing parameters
Polishing time
Wafer profiles
Modeling of evolution process of edge over erosion in copper CMP using frequency components algorithm
会议论文
Shanghai, China, March 13, 2016 - March 14, 2016
作者:
Wu, Lixiao
;
Hahn, Sookap
;
Yan, Changfeng
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2020/11/15
Copper
Linear systems
Polishing
Semiconductor device manufacture
Silicon wafers
Textile printing
Copper CMP
Evolution process
Frequency components
Pattern density
Pattern structure
Polishing processs
Square waves
Wafer patterns
Large-scale SiO_2 photonic crystal for high efficiency GaN LEDs by nanospherical-lens lithography
期刊论文
2016, 2016
吴奎
;
魏同波
;
蓝鼎
;
郑海洋
;
王军喜
;
罗毅
;
李晋闽
;
Wu Kui
;
Wei Tong-Bo
;
Lan Ding
;
Zheng Hai-Yang
;
Wang Jun-Xi
;
Luo Yi
;
Li Jin-Min
收藏
  |  
浏览/下载:5/0
High sensitivity and large measurement range refractometric sensing based on Mach-Zehnder interferometer
其他
2016-01-01
Zhang, G.
;
Cai, H.
;
Gu, Y.D.
;
Song, J.F.
;
Dong, B.
;
Yang, Z.C.
;
Jin, Y.F.
;
Hao, Y.L.
;
Sivalingam, S.P.
;
Yap, P.H.
;
Kwong, D.L.
;
Liu, A.Q.
收藏
  |  
浏览/下载:8/0
  |  
提交时间:2017/12/03
HIGH SENSITIVITY AND LARGE MEASUREMENT RANGE REFRACTOMETRIC SENSING BASED ON MACH-ZEHNDER INTERFEROMETER
其他
2016-01-01
Zhang, G.
;
Cai, H.
;
Gu, Y. D.
;
Song, J. F.
;
Dong, B.
;
Yang, Z. C.
;
Jin, Y. F.
;
Hao, Y. L.
;
Sivalingam, S. P.
;
Yap, P. H.
;
Kwong, D. L.
;
Liu, A. Q.
收藏
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浏览/下载:4/0
  |  
提交时间:2017/12/03
Using stable isotopes to determine seasonal variations in water uptake of summer maize under different fertilization treatments
SCI/SSCI论文
2016
作者:
Ma Y.
;
Song, X. F.
收藏
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浏览/下载:51/0
  |  
提交时间:2017/11/09
Root water uptake
Dual stable isotopes
MixSIAR model
Fertilization
Summer maize
winter-wheat
plant
irrigation
depth
soil
evapotranspiration
management
dynamics
growth
region
Facile patterning silicon wafer by Rochow reaction over patterned Cu-based catalysts
期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2016, 卷号: 360, 期号: JAN, 页码: 192-197
作者:
Ren, Wenfeng
;
Wang, Yanhong
;
Zhang, Zailei
;
Tan, Qiangqiang
;
Zhong, Ziyi
收藏
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2016/02/02
Si wafers
Direct-pattern
Rochow reaction
Copper catalysts
CH3Cl
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