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Design and Assessment of a 6-DOF Micro/Nanopositioning System 期刊论文
Ieee-Asme Transactions on Mechatronics, 2019, 卷号: 24, 期号: 5, 页码: 2097-2107
作者:  D.F.Zhang;  P.Z.Li;  J.G.Zhang;  H.N.Chen;  K.Guo
收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2020/08/24
Optical coatings for projection objective immersion lithography 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764
作者:  Bi, Dan-Dan;  Zhang, Li-Chao;  Shi, Guang
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2019/09/17
Optimization of the focus monitor mark in immersion lithography according to illumination type 期刊论文
J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS, 2017
作者:  Zhang LB(张利斌);  Wei YY(韦亚一);  He JF(何建芳);  Su XJ(苏晓菁);  Dong LS(董立松)
收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2018/06/08
The role of surface morphology in the barrier properties of epoxy coatings in different corrosion environments 期刊论文
PROGRESS IN ORGANIC COATINGS, 2017, 卷号: 104, 页码: 199-209
Qian, Hongchang; Zhang, Dawei; Deng, Leping; Huang, Luyao; Xu, Dake; Du, Cuiwei; Li, Xiaogang
收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2017/08/17
Key technology progress of optomechanical systems in 193 nm projection objective 期刊论文
Zhongguo Kexue Jishu Kexue/Scientia Sinica Technologica, 2017, 卷号: 47, 期号: 6
作者:  Zhang, D.;  X. Li;  D. Rui;  P. Li;  L. Dong and J. Zhang
收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2018/06/13
高重复频率脉冲功率技术及其应用:(6)代表性的应用 期刊论文
2016, 2016
江伟华; Jiang Weihua
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Athermal and flat-topped silicon Mach-Zehnder filters 期刊论文
OPTICS EXPRESS, 2016
Deng, Qingzhong; Liu, Lu; Zhang, Rui; Li, Xinbai; Michel, Jurgen; Zhou, Zhiping
收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2017/12/03
高NA投影光刻物镜波像差检测技术研究 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者:  李晶
收藏  |  浏览/下载：64/0  |  提交时间：2015/11/30
极紫外光学薄膜元件表面抗污染保护层及相关技术研究 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者:  王珣
收藏  |  浏览/下载：61/0  |  提交时间：2015/11/30
Calibrating the pupil fill balance for hypernumerical aperture lithographic objective 期刊论文
Optical Engineering, 2015, 卷号: 54, 期号: 9, 页码: 6
作者:  Rui, D. W.;  W. Zhang and H. J. Yang
收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2016/07/15

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