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Nonlinear silicon nitride waveguides based on a PECVD deposition platform
期刊论文
OPTICS EXPRESS, 2018, 卷号: 26, 页码: 9645-9654
作者:
Wang, Linghua
;
Xie, Weiqiang
;
Van Thourhout, Dries
;
Zhang, Yazhen
;
Yu, Hui
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/11/21
Effect of argon flow on promoting boron doping for in-situ grown silicon nitride thin films containing silicon quantum dots
期刊论文
NANOTECHNOLOGY, 2017, 卷号: 28
作者:
Liu, Jia
;
Liu, Bin
;
Zhang, Xisheng
;
Guo, Xiaojia
;
Liu, Shengzhong (Frank)
收藏
  |  
浏览/下载:61/0
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提交时间:2017/10/29
Si Quantum Dot
Silicon Nitride Thin Film
Pecvd
Boron-doping
Argon Dilution
H-2-Ar dilution for improved c-Si quantum dots in P-doped SiNx:H thin film matrix
期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2017, 卷号: 396, 页码: 235-242
作者:
Liu, Jia
;
Zhang, Weijia
;
Liu, Shengzhong (Frank)
收藏
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2019/06/20
C-si Quantum Dot
Sinx:h Thin Film
Phosphorus-doping
Pecvd
掺磷氮化硅薄膜钝化特性的研究
学位论文
2016, 2015
王洪喆
收藏
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浏览/下载:5/0
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提交时间:2017/06/20
晶体硅太阳电池
钝化
掺磷氮化硅
负的固定电荷
光致增强现象
crystalline silicon solar cell
passivation
phosphorus-doped silicon nitride
negative fixed charge
light-induced enhancement phenomenon
Bright luminescence in amorphous hydrogenated silicon-nitride quantum-dot films prepared by a special designed PECVD system
期刊论文
JOURNAL OF LUMINESCENCE, 2016, 卷号: 175, 页码: 67-70
作者:
Shi, D. Q.
;
Hu, B. C.
;
Xu, W.
;
Li, X. N.
;
Ma, C. Y.
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2019/12/09
Amorphous silicon-nitride
Quantum dot
Photoluminescence
半导体器件及其制造方法
专利
专利号: US8652893, 申请日期: 2014-02-18, 公开日期: 2013-04-04
作者:
陈大鹏
;
殷华湘
;
徐秋霞
收藏
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浏览/下载:5/0
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提交时间:2015/05/27
A semiconductor laser device and a method for manufacturing a semiconductor laser device
专利
专利号: GB2494008A, 申请日期: 2013-02-27, 公开日期: 2013-02-27
作者:
SILKE TRAUT
;
STÉPHANIE SAINTENOY
收藏
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2020/01/18
Effects of substrate temperature on the properties of silicon nitride films by PECVD
会议论文
2012 Workshop on Inorganic Thin Films and Coatings, 2012-07-16
作者:
Li, Chunya[1]
;
Li, Xifeng[2]
;
Chen, Longlong[3]
;
Shi, Jifeng[4]
;
Zhang, Jianhua[5]
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/04/30
Investigation of silicon/glass anodic bonding with PECVD silicon carbide as the intermediate layer
期刊论文
journal of micromechanics and microengineering, 2012
Tang, W.
;
Meng, B.
;
Su, W.
;
Zhang, H. X.
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2015/11/13
THIN-FILMS
GLASS
PRESSURE
NITRIDE
SENSORS
OXIDE
Plasma-enhanced chemical vapour deposition of inorganic nanomaterials using a chloride precursor
期刊论文
journal of physics d applied physics, 2011
Yang, Rong
;
Zheng, Jie
;
Li, Wei
;
Qu, Jianglan
;
Li, Xingguo
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2015/11/13
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