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Enhancing the thermal stability of NiGe by prior-germanidation fluorine implantation into Ge substrate 期刊论文
Japanese Journal of Applied Physics, 2018
作者:  Zhang D(张丹);  Wang WW(王文武);  Chen DP(陈大鹏);  Li JF(李俊峰);  Liu S(刘实)
收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2019/05/20
面向先进CMOS技术节点的NiSi和NiGe接触技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2018
作者:  段宁远
收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2018/09/05
Reduction of NiGe/n-and p-Ge Specific Contact Resistivity by Enhanced Dopant Segregation in the Presence of Carbon During Nickel Germanidation 期刊论文
IEEE Transactions on Electron Devices, 2016
作者:  Duan NY(段宁远);  Wang GL(王桂磊);  Liu JB(刘金彪);  Eddy simoen;  Mao SJ(毛淑娟)
收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2017/05/09
Thermal Stability Improvement of Nickel Germanide Utilizing Nitrogen Plasma Pretreatment for Germanium-Based Technology 其他
2016-01-01
Zhang, Bingxin; An, Xia; Liu, Pengqiang; Li, Ming; Lin, Meng; Hao, Peilin; Zhang, Xing; Huang, Ru
收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2017/12/03
Influence of interface structure on electrical properties of NiGe/Ge contacts 期刊论文
JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, 2015, 卷号: 54, 期号: 5, 页码: 6
作者:  Deng, Yunsheng;  Nakatsuka, Osamu;  Sakashita, Mitsuo;  Zaima, Shigeaki
收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2018/03/15
Effects of carbon pre-germanidation implant into Ge on the thermal stability of NiGe films 期刊论文
Microelectronic engineering, 2015
作者:  Liu QB(刘庆波);  Ke XX(柯星星);  Guo YL(郭奕栾);  Zhao C(赵超);  Wang GL(王桂磊)
收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2016/05/31
Effects of carbon pre-germanidation implantation on the thermal stability of NiGe and dopant segregation on both n- and p-type Ge substrate 期刊论文
ECS Journal of Solid State Science and Technology, 2015
作者:  Zhao C(赵超);  Liu QB(刘庆波);  Wang GL(王桂磊);  Duan NY(段宁远);  Liu HW(刘宏伟)
收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2016/05/31
Effects of carbon pre-germanidation implant into Ge on the thermal stability of NiGe films 期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2015, 卷号: 133, 页码: 6-10
作者:  Liu, Qingbo;  Wang, Guilei;  Guo, Yiluan;  Ke, Xingxing;  Radamson, Henry
收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2019/12/17
Effects of Carbon Pre-Germanidation Implantation on the Thermal Stability of NiGe and Dopant Segregation on Both n- and p-Type Ge Substrate 期刊论文
ECS Journal of Solid State Science and Technology, 2015, 卷号: 4, 期号: 5, 页码: P119-P123
作者:  Liu, Qingbo;  Wang, Guilei;  Duan, Ningyuan;  Radamson, Henry;  Liu, Hong
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/17
Ge/SiGe异质结构肖特基源漏MOSFET 期刊论文
2014
张茂添; 刘冠洲; 李成; 王尘; 黄巍; 赖虹凯; 陈松岩
收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2016/05/17

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