| 题名 | 面向先进CMOS技术节点的NiSi和NiGe接触技术研究 |
| 作者 | 段宁远 |
| 答辩日期 | 2018-05-19 |
| 文献子类 | 博士 |
| 授予单位 | 中国科学院大学 |
| 导师 | 赵超 |
| 学位专业 | 微电子学与固体电子学 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://159.226.55.106/handle/172511/18392]  |
| 专题 | 微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 段宁远. 面向先进CMOS技术节点的NiSi和NiGe接触技术研究[D]. 中国科学院大学. 2018. |
| 个性服务 |
| 查看访问统计 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论