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| 静电激励谐振式MEMS气压传感器的关键技术研究 学位论文
博士, 北京: 中国科学院大学, 2016
谢波
  收藏 | 浏览/下载：24/0 | 提交时间：2016/06/04
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| 提高谐振式MEMS气压传感器综合性能关键技术研究 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院大学, 2015
李忆南
收藏 | 浏览/下载：28/0 | 提交时间：2015/06/21
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| 高Q值的谐振式MEMS气压传感器的研究 学位论文
博士, 北京: 中国科学院大学, 2015
罗振宇
收藏 | 浏览/下载：68/0 | 提交时间：2015/06/05
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| 静电激励-电容检测谐振式MEMS气压传感器研究 学位论文
博士, 北京: 中国科学院大学, 2014
焦海龙
收藏 | 浏览/下载：69/0 | 提交时间：2014/06/14
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| MEMS气压传感器关键技术研究 学位论文
博士, 北京: 中国科学院电子学研究所, 2014
刘启民
收藏 | 浏览/下载：25/0 | 提交时间：2014/06/17 |
| 谐振式MEMS压力传感器圆片级真空封装研究 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院大学, 2013
曹明威
收藏 | 浏览/下载：19/0 | 提交时间：2013/06/08
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| 数字压力传感器BP5607应用实现 期刊论文
传感技术学报, 2013, 卷号: 026, 期号: 002, 页码: 289
作者: 胡正群; 张丽荣
收藏 | 浏览/下载：0/0 | 提交时间：2020/03/11 |
| MEMS气压传感器的设计和制作 学位论文
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2012
李玉欣
收藏 | 浏览/下载：12/0 | 提交时间：2012/06/09
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| 基于SOI的硅微谐振式压力传感器芯片制作 期刊论文
http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=CGJS201202008&dbname=CJFQTEMP, 2012, 2012
马志波; 姜澄宇; 任森; 苑伟政
收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2017/06/19
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| 全柔性热膜微传感器阵列制造工艺及性能优化 期刊论文
http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=GXJM200908032&dbname=CJFQ2009, 2012, 2012
马炳和; 赵建国; 邓进军; 苑伟政
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2017/06/19
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