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浏览/检索结果: 共7条，第1-7条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 The quality factor of quartz DETF for resonant sensors: simulation, analysis and verification 期刊论文 Journal of Micromechanics and Microengineering, 2021, 卷号: 31, 期号: 11, 页码: 13 作者:  Li,Cun;  Zhang,Quanwei;  Zhao,Yulong;  Tian,Chuan;  Li,Bo 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2021/11/16 resonant sensor  quality factor  quartz DETF  structural damping  air damping   A MEMS resonant accelerometer for low-frequency vibration detection 期刊论文 Sensors and Actuators, A: Physical, 2018, 卷号: 283, 页码: 151-158 作者:  Wang, Shudong;  Wei, Xueyong;  Zhao, Yulong;  Jiang, Zhuangde;  Shen, Yajing 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2019/11/26 Cross-axis sensitivity  Double-ended-tuning-fork resonators  Dynamic performance  Dynamic tests  Inherent characteristics  Low-frequency  Low-frequency vibration  MEMS resonant accelerometers   Design and optimization of DETF resonator based on uncertainty analysis in a micro-accelerometer 期刊论文 MICROSYSTEM TECHNOLOGIES-MICRO-AND NANOSYSTEMS-INFORMATION STORAGE AND PROCESSING SYSTEMS, 2018, 卷号: 24, 页码: 2025-2034 作者:  Shi, Huichao;  Fan, Shangchun;  Li, Wenlong 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2019/12/30 Accelerometers  Finite element method  Geometry  Resonators  Stochastic models  Stochastic systems  Boundary structure  Design and optimization  Different geometry  Double-ended-tuning-fork resonators  Geometry parameter  Micro accelerometers  Parametric uncertainties  Vibration model  Uncertainty analysis   氮化铝双端固支音叉谐振器的结构设计 期刊论文 High Power Laser and Particle Beams强激光与粒子束, 2017, 卷号: 29, 期号: 10, 页码: 104101 作者:  吕军光;  高杨;  雷强;  赵俊武 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2019/08/27 微传感器  氮化铝双端固支音叉  灵敏度  信号功率   Structure design of AlN double-ended tuning fork resonators 期刊论文 Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 2017, 卷号: 10605, 页码: 1060518 作者:  LEI Qiang , 高扬;  GAO Yang;  Han Chao 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2019/08/29 micro-sensors  AlN DETF  sensitivity  signal power   Structure design of AlN double-ended tuning fork resonators 期刊论文 Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 2017, 卷号: 10605, 页码: 1060518 作者:  LEI Qiang , 高扬;  GAO Yang;  Han Chao 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2019/08/27 micro-sensors  AlN DETF  sensitivity  signal power   微机械音叉谐振器动力学分析与仿真 Analysis and Simulation of the Dynamic of the Double-Ended Tuning Fork Micro-Resonators 期刊论文 2009, 卷号: 22, 页码: 325-330 作者:  刘恒[1,2];  何晓平[2];  苏伟[2];  张富堂[2] 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/11/28