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| 微机械谐振式加速度计的研究现状及发展趋势 期刊论文
High Power Laser and Particle Beams强激光与粒子束, 2017, 卷号: 29, 期号: 8, 页码: 80201
作者: 高杨; 雷强; 赵俊武; 吕军光
  收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2019/08/27
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| 静电激励谐振式MEMS气压传感器的关键技术研究 学位论文
博士, 北京: 中国科学院大学, 2016
谢波
收藏 | 浏览/下载：24/0 | 提交时间：2016/06/04
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| 高效率的MEMS陀螺管芯动态特性测试方法 期刊论文
2016, 2016
邓焱; 邢超; 张嵘; 周斌; DENG Yan; XING Chao; ZHANG Rong; ZHOU Bin
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| 静电激励-电容检测谐振式MEMS气压传感器研究 学位论文
博士, 北京: 中国科学院大学, 2014
焦海龙
收藏 | 浏览/下载：69/0 | 提交时间：2014/06/14
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| 单端口静电激励/电容检测谐振器的谐波分析 期刊论文
振动、测试与诊断, 2013, 卷号: 33, 页码: 653-659
作者: 樊尚春; 陈晨; 邢维巍
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2020/01/06
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| 微机械谐振子单端口电容检测方法研究 期刊论文
计测技术, 2013, 页码: 20-25
作者: 邢维巍; 谷姗姗; 王炜明; 章建军; 樊尚春
收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2020/01/06
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| 微谐振器的单端口静电激励-电容检测方法研究 期刊论文
传感器与微系统, 2012, 卷号: 31, 页码: 36-38,41
作者: 樊尚春; 陈晨; 邢维巍
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2020/01/06
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| 硅微谐振式压力传感器中的单端口静电激励-电容检测方法研究 会议论文
2012年全国压力计量测试技术交流年会, 北京, 2012-09-12
作者: XING Weiwei; 邢维巍; PENG Zhenjiang; 彭振江; FAN Shangchun
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2020/01/06
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| 硅微谐振式压力传感器中的单端口静电激励-电容检测方法研究 期刊论文
计测技术, 2012, 页码: 35-38
作者: 邢维巍; 彭振江; 樊尚春
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2020/01/06
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| 转子悬浮式微静电电机的检测电路设计 期刊论文
2010, 2010
陈喆; 韩丰田; Chen Zhe; Han Fengtian
收藏 | 浏览/下载：2/0 |
