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浏览/检索结果: 共7条，第1-7条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测 期刊论文 光学精密工程, 2016, 期号: 9, 页码: 2134-2141 作者:  刘兆武;  李文昊;  王敬开;  姜珊;  宋莹 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2017/09/17 激光干涉仪  纳米二维工作台  测量镜  面形误差  在线检测   大行程纳米级定位工作台的结构设计 期刊论文 光学精密工程, 2016, 期号: 5, 页码: 1065-1071 作者:  陈琦 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2017/09/17 扫描干涉光刻系统  高精度工作台  气体静压导轨  摩擦驱动  纳米级定位   纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测 期刊论文 光学精密工程, 2016, 卷号: 24, 页码: 2134-2141 作者:  Liu, Zhao-Wu;  Li, Wen-Hao;  Wang, Jing-Kai;  Jiang, Shan;  Song, Ying 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/30 激光干涉仪  纳米二维工作台  测量镜  面形误差  在线检测   微纳米极二维工作台定位系统的研究 学位论文 : 西安理工大学, 2012 作者:  申阿维 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/20 微纳米极二维工作台  定位系统  光纤位移传感器  柔性铰链  压电陶瓷   基于超磁致伸缩和压电陶瓷的XY超精密定位工作台 期刊论文 2010, 2010 李翠红; 孟永钢; 田煜; 温诗铸; LI Cui-hong; MENG Yong-gang; TIAN Yu; WEN Shi-zhu 收藏  |  浏览/下载：3/0 纳米级精度分光路双频干涉度量系统的设计 期刊论文 2010, 2010 葛杨翔; 王东生; 李玉和; 李庆祥; GE Yang-xiang; WANG Dong-sheng; LI Yu-he; LI Qing-xiang 收藏  |  浏览/下载：1/0 基于双复合平行四杆机构的二维微位移工作台的研究 学位论文 硕士: 中国科学院电工研究所, 2007 1赵云龙,电工研究所 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2010/10/18 二维微位移工作台  柔性铰链  压电陶瓷驱动器  有限元分析  双复合平行四杆机构 2-D micro-positioning stage  flexure hinge  PZT actuator  finite element analysis  dual-complex parallel four-bar mechanism