纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测

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	纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测
	刘兆武; 李文昊; 王敬开; 姜珊; 宋莹; 潘明忠; 巴音贺希格
刊名	光学精密工程
	2016-09-15
期号	9 页码:2134-2141
关键词	激光干涉仪纳米二维工作台测量镜面形误差在线检测
中文摘要	针对二维工作台测量镜本身的面形误差以及装调等因素引起面形变化对二维工作台定位精度的影响,提出了一种用于纳米精度二维工作台测量镜面形误差的在线检测方法。利用两路激光干涉仪检测面形微分数据的基本原理,分析了零点误差和积分累计误差对测量镜面形误差检测的影响并提出了改进方法。利用三路激光干涉仪组成两组不等跨度的检测机构,得到两组工作台测量镜面形的原始数据,通过这两组数据之间的关系修正跨度间的面形细节误差,得到了精确的测量镜面形误差量。对此方法进行了理论推导、仿真计算和实验验证,并将结果与Zygo干涉仪测量得到的离线检测结果进行了对比,结果显示其差异在±10nm之间,且趋势有较好的一致性。得到的结果验证了提出的方法可正确测量和真实地还原测量镜的面形误差。
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/57609]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	刘兆武,李文昊,王敬开,等. 纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测[J]. 光学精密工程,2016(9):2134-2141.
APA	刘兆武.,李文昊.,王敬开.,姜珊.,宋莹.,...&巴音贺希格.(2016).纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测.光学精密工程(9),2134-2141.
MLA	刘兆武,et al."纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测".光学精密工程 .9(2016):2134-2141.