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HiPIMS室温溅射晶态氧化铝薄膜的粒子能量调控
期刊论文
中国表面工程, 2022, 页码: 8
作者:
高方圆
;
许亿
;
李国栋
;
李光
;
夏原
收藏
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2022/10/17
HiPIMS
氧化铝薄膜
室温
晶化诱导
能量调控
磁控溅射非晶硅薄膜质量的测量
期刊论文
金属功能材料, 2022, 卷号: 29, 期号: 02, 页码: 20-27
作者:
杨淞婷
;
张海民
;
项羽杰
;
罗永春
收藏
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2022/04/21
非晶硅薄膜
磁控溅射
质量标定
不确定度
脉冲频率对HiPIMS制备TiN薄膜组织和力学性能的影响
期刊论文
中国表面工程, 2022, 卷号: 35, 期号: 5, 页码: 192-199
作者:
高海洋
;
张斌
收藏
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浏览/下载:0/0
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提交时间:2023/12/08
高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)
脉冲频率
TiN薄膜
微观组织
力学性能
动量空间计算成像
学位论文
中国科学院大学: 中国科学院大学(中国科学院近代物理研究所), 2019
作者:
张月昭
收藏
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浏览/下载:81/0
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提交时间:2019/11/21
Ti/Al过渡层对共掺杂类金刚石薄膜性能的影响
期刊论文
表面技术, 2019, 卷号: 48, 期号: 01, 页码: 268-275
作者:
周永
;
孔翠翠
;
李晓伟
;
孙丽丽
;
郭鹏
收藏
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2019/12/18
溅射能量对WC/a-C:H薄膜结构与性能的影响
期刊论文
中国有色金属学报, 2018, 卷号: 28, 期号: 05, 页码: 955-963
作者:
王立平
;
薛群基
;
王永欣
;
刘翔
;
孙尚琪
收藏
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浏览/下载:29/0
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提交时间:2018/12/04
溅射靶电流
Wc/a-c:H薄膜
摩擦磨损
自组织梯度分层结构金属掺杂类金刚石薄膜的制备及其性能研究
期刊论文
真空科学与技术学报, 2018, 卷号: 38, 期号: 09, 页码: 764-771
作者:
李强
;
汪爱英
;
柯培玲
;
郭鹏
;
孙丽丽
收藏
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浏览/下载:33/0
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提交时间:2018/12/04
金属掺杂
类金刚石薄膜
自组织梯度分层结构
摩擦性能
乳化液环境中WC/a-C:H薄膜摩擦行为的研究
期刊论文
摩擦学学报, 2018, 卷号: 38, 期号: 05, 页码: 554-561
作者:
王立平
;
孙尚琪
;
王永欣
;
路小江
;
刘翔
收藏
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浏览/下载:35/0
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提交时间:2018/12/04
Wc/a-c:H薄膜
乳化液
摩擦
磨损
基于鼓包法的PbZr_(0.52)Ti_(0.48)O_3/Ni薄膜材料力电磁耦合特性测试分析
期刊论文
现代应用物理, 2017
刘奇
;
孙长振
;
何元东
;
徐浩
;
于泽军
;
毛卫国
;
裴永茂
;
方岱宁
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2017/12/03
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