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科研机构
上海光学精密机械研究... [9]
内容类型
学位论文 [6]
会议论文 [2]
期刊论文 [1]
发表日期
2016 [3]
2015 [2]
2014 [2]
学科主题
光学工程 [2]
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光栅剪切干涉波前测量技术研究
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
李杰
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浏览/下载:202/0
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提交时间:2016/11/28
波前测量
横向剪切干涉
波前重建
光栅元件
系统误差
高NA光刻机投影物镜偏振像差检测技术研究
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
沈丽娜
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浏览/下载:143/0
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提交时间:2016/11/28
光刻机
矢量成像模型
偏振像差
泡利-泽尼克系数
偏振像差检测
基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
方伟
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浏览/下载:121/0
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提交时间:2016/11/28
Ptychography
PIE
相位恢复
波像差
光刻投影物镜
极紫外光刻
光刻投影物镜波像差原位干涉检测技术研究
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者:
吴飞斌
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浏览/下载:76/0
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提交时间:2016/11/28
光刻投影物镜
1xnm节点
波像差原位检测
Ronchi剪切干涉仪
相位提取
Ronchi剪切干涉光刻投影物镜波像差检测技术研究
期刊论文
中国激光, 2015, 卷号: 42, 期号: 3, 页码: 308008
作者:
吴飞斌
;
唐锋
;
王向朝
;
李杰
;
李思坤
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浏览/下载:74/0
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提交时间:2016/11/28
一种Ronchi剪切干涉仪相位提取方法
会议论文
作者:
吴飞斌
;
唐锋
;
王向朝
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2016/11/28
基于空间像主成分分析的光刻投影物镜波像差和成像最佳焦面检测方法
会议论文
作者:
李思坤
;
王向朝
;
闫观勇
;
沈丽娜
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2016/11/28
基于点衍射干涉仪的成像系统综合像质检测技术
学位论文
作者:
董冠极
收藏
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浏览/下载:49/0
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提交时间:2018/12/26
光学检测
Optical Measurement
像差
Aberration
泽尼克多项式
Zernike polynomials
点衍射干涉
Point-diffraction
浸没式光刻机投影物镜波像差检测技术研究
学位论文
作者:
诸波尔
收藏
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浏览/下载:91/0
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提交时间:2018/12/26
浸没式光刻机
Immersion lithography tool
投影物镜
Projection lens
波像差检测
Wavefront aberration measurement
空间像
Aerial image
主成分分析
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