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| 基于片上工艺的MOEMS光强差分测量加速度计研究 期刊论文 电子器件, 2018, 卷号: 41, 页码: 1130-1135 作者: 薛国芳; 张培彦
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| MOEMS集成波长选择开关的设计及研究 期刊论文 微纳电子技术, 2017, 页码: 597-604+626 作者: 时建; 梁静秋; 陈成; 吕金光; 秦余欣
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| 用于MEMS微镜监测的光电集成位置传感芯片的研究 学位论文 2016, 2016 郑明
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| AlGaInP-LED微阵列器件的设计与实验研究 学位论文 博士: 中国科学院大学, 2015 作者: 田超
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| 空间调制微型傅里叶变换红外光谱仪研究 期刊论文 中国光学, 2015, 期号: 02, 页码: 277-298 作者: 梁静秋; 梁中翥; 吕金光; 秦余欣; 田超
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| 一种新型SOG周期可调光栅的制作及其衍射性能测试 期刊论文 http://epub.edu.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=GXXB201011013&dbname=CJFQ2010, 2012, 2012 燕斌; 苑伟政; 虞益挺; 乔大勇; 孙瑞康; 李太平
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| 微光机电机械系统(MOEMS)技术及其应用 期刊论文 传感器与微系统, 2011, 期号: 11 李红光
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| 静电微反射镜的发展与应用 期刊论文 2010, 2010 任大海; 杜杰; 阎梅芝; 尤政; REN Da-hai; DU Jie; YAN Mei-zhi; YOU Zheng
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| MOEMS微型二维扫描镜的建模与仿真 期刊论文 2010, 2010 张弛; 张高飞; 尤政; ZHANG Chi; ZHANG Gao-fei; YOU Zheng
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| MOEMS波长选择器的关键技术研究 学位论文 硕士, 长春光学精密机械与物理所: 中国科学院长春光学精密机械与物理所, 2008 李伟
![](/themes/default/image/downing1.png) 收藏  |  浏览/下载:8/0  |  提交时间:2012/03/21
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