| 题名 | 用于MEMS微镜监测的光电集成位置传感芯片的研究; Research of Optoelectrical Integrated Position Sensor for MEMS Micromirror |
| 作者 | 郑明 |
| 答辩日期 | 2016-12-21 ; 2016-05-21 |
| 导师 | 程翔 |
| 关键词 | 光电传感器 微镜 位移和旋转 Optoelectronic sensor micromirror displacement and tilt |
| 英文摘要 | 随着微电子技术的快速发展，微光机电系统已经越来越受到关注。MEMS微镜是众多微光学系统的核心元件。微镜在工作过程中，驱动臂会受到电压纹波、温度或电磁场不同程度的干扰，这使得微镜位置产生偏差，因此必须对微镜工作时的位移或偏转角度进行测量，以便通过反馈系统及时修正。目前，大部分位置传感器采用电容式、压电式传感等方法对微镜进行监测，这些方法存在线性度小和材料不兼容的问题。为了保证在微光学系统高度集成化的基础上，实现对大位移微动镜的监测，本文提出一种应用于监测MEMS微镜的光电集成位置（角度或位移）传感芯片。主要研究工作和成果包括以下几个方面： 1、对光电集成位置传感芯片进行了总体设计，分析了光发射...; With the rapid development of microelectronics technology, MOEMS has received increasing attention. MEMS micromirror is a core element of many micro-optic system. Micromirror’s actuators would be interferenced by ripple voltage, temperature or electromagnetic field during operation. So measurment for micromirror’s displacement and tilt is required, which insures the feedback system make correction...; 学位：工学硕士; 院系专业：航空航天学院_机械电子工程; 学号：19920131152896 |
| 语种 | zh_CN |
| 出处 | http://210.34.4.13:8080/lunwen/detail.asp?serial=56946 |
| 内容类型 | 学位论文 |
| 源URL | [http://dspace.xmu.edu.cn/handle/2288/130086]  |
| 专题 | 航空航天－学位论文 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 郑明. 用于MEMS微镜监测的光电集成位置传感芯片的研究, Research of Optoelectrical Integrated Position Sensor for MEMS Micromirror[D]. 2016, 2016. |
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