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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 MEMS固体波动陀螺谐振子现状及发展 期刊论文 微纳电子技术, 2018, 卷号: 55, 期号: 10, 页码: 738-745 作者:  庄须叶;  江南;  易剑;  张军安;  郭述文 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2018/12/04 微机电系统(Mems)  固体波动陀螺仪  超高q值  单晶金刚石  3d超精密加工