MEMS固体波动陀螺谐振子现状及发展

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	MEMS固体波动陀螺谐振子现状及发展
	庄须叶; 江南; 易剑; 张军安; 郭述文
刊名	微纳电子技术
	2018
卷号	55 期号:10 页码:738-745
关键词	微机电系统(Mems) 固体波动陀螺仪超高q值单晶金刚石 3d超精密加工
产权排序	中国科学院宁波材料技术与工程研究所;华东光电集成器件研究所;苏州大学微纳传感技术研究中心;宁波晶钻工业科技有限公司;
英文摘要	提高微机电系统(MEMS)固体波动陀螺仪性能的一个根本技术就是高品质因数(Q值)技术,分析了现有陀螺仪常用敏感元件(谐振子)和材料(熔融石英和硅等)的优缺点,发现要想进一步提高谐振子的Q值,除了优化谐振子的结构以外,最重要的还是提高谐振子材料本身的Q值。与现有的谐振子材料相比,单晶金刚石(SCD)具有更高的优质因数(材料固有频率×Q值),将是新一代MEMS固体波动陀螺谐振子材料的首选,而单晶金刚石MEMS固体波动陀螺仪将是未来惯性与制导领域争夺的制高点。依据国内外MEMS固体波动陀螺仪的研究现状,预测了未来高端MEMS固体波动陀螺仪的发展方向,总结了国内现有的大尺寸高品质器件级单晶金刚石的制备和加工现状。
公开日期	2018-12-04
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.nimte.ac.cn/handle/174433/16509]
专题	2018专题
推荐引用方式 GB/T 7714	庄须叶,江南,易剑,等. MEMS固体波动陀螺谐振子现状及发展[J]. 微纳电子技术,2018,55(10):738-745.
APA	庄须叶,江南,易剑,张军安,&郭述文.(2018).MEMS固体波动陀螺谐振子现状及发展.微纳电子技术,55(10),738-745.
MLA	庄须叶,et al."MEMS固体波动陀螺谐振子现状及发展".微纳电子技术 55.10(2018):738-745.