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含氢四面体非晶碳膜的制备与结构及力学性能(英文)
期刊论文
硅酸盐学报, 2022, 页码: 1-6
作者:
许世鹏
;
占发琦
;
郑月红
;
陈维铅
;
喇培清
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2022/09/22
含氢四面体非晶碳膜
纳米力学性能
等离子增强化学气相沉积
微观结构
碳源入射角对超薄四面体非晶碳膜结构和性能的影响
期刊论文
硅酸盐学报, 2022, 卷号: 50, 期号: 5, 页码: 1-6
作者:
党坤
;
王华
;
陈维铅
;
李玉宏
;
许世鹏
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浏览/下载:29/0
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提交时间:2022/04/21
四面体非晶碳膜
碳源入射角
微观结构
润湿性
表面形貌
膜厚对超薄四面体非晶碳膜应力和结构的影响
期刊论文
硅酸盐学报, 2019, 期号: 01, 页码: 6
作者:
李晓伟
;
许世鹏
;
汪爱英
;
李玉宏
;
陈仁德
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浏览/下载:241/0
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提交时间:2018/12/04
四面体非晶碳膜
膜厚
残余应力
薄膜结构
不同厚度四面体非晶碳薄膜的高通量制备及表征
期刊论文
无机材料学报, 2018, 卷号: 33, 期号: 11, 页码: 1173-1178
作者:
魏菁
;
李汉超
;
柯培玲
;
汪爱英
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浏览/下载:19/0
  |  
提交时间:2019/12/18
膜厚对超薄四面体非晶碳膜应力和结构的影响(英文)
期刊论文
硅酸盐学报, 2018, 卷号: 47, 期号: 01, 页码: 71-76
作者:
许世鹏
;
李晓伟
;
陈仁德
;
李玉宏
;
汪爱英
收藏
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2019/12/18
不同厚度四面体非晶碳薄膜的高通量制备及表征
期刊论文
无机材料学报, 2018, 期号: 11, 页码: 1173-1178
作者:
魏菁
;
李汉超
;
柯培玲
;
汪爱英
收藏
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2018/12/04
四面体非晶碳膜
高通量
厚度
微结构
光学带隙
刻蚀工艺对四面体非晶碳膜生长及其性能的影响
期刊论文
表面技术, 2017, 期号: 04, 页码: 143-149
作者:
李晓伟
;
吴晓春
;
谢仕芳
;
郭婷
;
左潇
收藏
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2017/12/25
刻蚀工艺对四面体非晶碳膜生长及其性能的影响
期刊论文
表面技术, 2017, 卷号: 46, 页码: 143-149
作者:
郭婷[1]
;
左潇[2]
;
郭鹏[3]
;
李晓伟[4]
;
吴晓春[5]
收藏
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2019/04/24
四面体非晶碳膜
辉光刻蚀
电弧刻蚀
刻蚀时间
结构
碳基薄膜制备装置用离子源设计及碳基薄膜抑制二次电子特性研究
学位论文
2016
作者:
王晓波
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/11/26
四面体非晶碳膜,卡夫曼离子源,离子束改性,抑制二次电子,微放电效应
Accurate Determination of Optical Constants of Ultrathin Tetrahedral Amorphous Carbon Films
期刊论文
Surface Technology, 2016, 卷号: 45, 期号: 2, 页码: 124-128
Xu Shipeng
;
Li Yuhong
;
Chen Weiqian
;
Lin Li
;
Li Jiang
;
Xue Yangquan
收藏
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2016/09/18
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