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含氢四面体非晶碳膜的制备与结构及力学性能(英文) 期刊论文
硅酸盐学报, 2022, 页码: 1-6
作者:  许世鹏;  占发琦;  郑月红;  陈维铅;  喇培清
收藏  |  浏览/下载:3/0  |  提交时间:2022/09/22
碳源入射角对超薄四面体非晶碳膜结构和性能的影响 期刊论文
硅酸盐学报, 2022, 卷号: 50, 期号: 5, 页码: 1-6
作者:  党坤;  王华;  陈维铅;  李玉宏;  许世鹏
收藏  |  浏览/下载:29/0  |  提交时间:2022/04/21
膜厚对超薄四面体非晶碳膜应力和结构的影响 期刊论文
硅酸盐学报, 2019, 期号: 01, 页码: 6
作者:  李晓伟;  许世鹏;  汪爱英;  李玉宏;  陈仁德
收藏  |  浏览/下载:241/0  |  提交时间:2018/12/04
不同厚度四面体非晶碳薄膜的高通量制备及表征 期刊论文
无机材料学报, 2018, 卷号: 33, 期号: 11, 页码: 1173-1178
作者:  魏菁;  李汉超;  柯培玲;  汪爱英
收藏  |  浏览/下载:19/0  |  提交时间:2019/12/18
膜厚对超薄四面体非晶碳膜应力和结构的影响(英文) 期刊论文
硅酸盐学报, 2018, 卷号: 47, 期号: 01, 页码: 71-76
作者:  许世鹏;  李晓伟;  陈仁德;  李玉宏;  汪爱英
收藏  |  浏览/下载:23/0  |  提交时间:2019/12/18
不同厚度四面体非晶碳薄膜的高通量制备及表征 期刊论文
无机材料学报, 2018, 期号: 11, 页码: 1173-1178
作者:  魏菁;  李汉超;  柯培玲;  汪爱英
收藏  |  浏览/下载:30/0  |  提交时间:2018/12/04
刻蚀工艺对四面体非晶碳膜生长及其性能的影响 期刊论文
表面技术, 2017, 期号: 04, 页码: 143-149
作者:  李晓伟;  吴晓春;  谢仕芳;  郭婷;  左潇
收藏  |  浏览/下载:16/0  |  提交时间:2017/12/25
刻蚀工艺对四面体非晶碳膜生长及其性能的影响 期刊论文
表面技术, 2017, 卷号: 46, 页码: 143-149
作者:  郭婷[1];  左潇[2];  郭鹏[3];  李晓伟[4];  吴晓春[5]
收藏  |  浏览/下载:7/0  |  提交时间:2019/04/24
碳基薄膜制备装置用离子源设计及碳基薄膜抑制二次电子特性研究 学位论文
2016
作者:  王晓波
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2019/11/26
Accurate Determination of Optical Constants of Ultrathin Tetrahedral Amorphous Carbon Films 期刊论文
Surface Technology, 2016, 卷号: 45, 期号: 2, 页码: 124-128
Xu Shipeng; Li Yuhong; Chen Weiqian; Lin Li; Li Jiang; Xue Yangquan
收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2016/09/18


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