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| 微纳作业平台的位姿感知与智能控制方法研究 学位论文
中国科学院自动化研究所: 中国科学院自动化研究所, 2022
作者: 杜章铭
  收藏 | 浏览/下载：21/0 | 提交时间：2022/06/13
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| 压电驱动纳米定位平台的设计与智能预测控制方法研究 学位论文
北京: 中国科学院研究生院, 2018
作者: 王昂
收藏 | 浏览/下载：55/0 | 提交时间：2018/06/11
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| 一种二自由度压电驱动纳米定位平台 专利
申请日期: 2015-05-06, 公开日期: 2015-05-06
作者: 闫鹏; 孙玉琼
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2020/01/04 |
| 一种二自由度压电驱动纳米定位平台 专利
申请日期: 2015-05-06, 公开日期: 2015-05-06
作者: 闫鹏; 孙玉琼
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2020/01/04 |
| 基于双频激光干涉仪大载荷纳米微动台的研制 期刊论文
实验室研究与探索, 2014, 期号: 12, 页码: 54-57
陈琦; 钟君
收藏 | 浏览/下载：17/0 | 提交时间：2015/04/17
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| 基于电容微位移传感器的大载荷微动台的研制 期刊论文
应用科技, 2014, 期号: 6
陈琦
收藏 | 浏览/下载：22/0 | 提交时间：2015/04/17
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| 用于大NA光刻投影物镜波像差检测系统的精密定位台的研究 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2012
舒强
收藏 | 浏览/下载：44/0 | 提交时间：2014/12/11
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| 模糊自整定比例积分控制在空间三维纳米定位台的应用 期刊论文
光学技术, 2012, 卷号: 38, 期号: 2, 页码: 202-207
作者: 舒强; 施宁平; 饶学军
收藏 | 浏览/下载：13/0 | 提交时间：2016/11/15
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| 二维非耦合纳米级运动平台机构 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101969276A, 申请日期: 2011-02-09, 公开日期: 2013-10-15
作者: 董再励; 刘柱; 丁晓辉; 周磊
收藏 | 浏览/下载：24/0 | 提交时间：2013/10/15 |
| 光学检测平台的宏微驱动控制系统研究 学位论文
2011, 2011
黄征
收藏 | 浏览/下载：6/0 | 提交时间：2016/02/14
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