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大视场纳型星敏光学系统公差灵敏度研究
期刊论文
光子学报, 2019, 卷号: 48, 期号: 05, 页码: 77-88
作者:
张坤
;
钟兴
;
孟遥
;
刘江
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2020/08/24
纳型星敏感器
公差灵敏度
光焦度分配
曲率
小像差相互补偿
大视场
公差分析
一种针对超大口径凸非球面的面形检测方法
期刊论文
中国光学, 2019, 卷号: 12, 期号: 05, 页码: 1147-1154
作者:
张海东
;
王孝坤
;
薛栋林
;
张学军
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2020/08/24
面形检测
非球面
像差补偿
衍射光学元件
结合划线拟合和深度学习的数字全息显微相位像差自动补偿方法
期刊论文
光子学报, 2018, 卷号: 47, 页码: 158-167
作者:
肖文
;
杨璐
;
潘锋
;
曹闰禹
;
姚田
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2019/12/30
数字全息显微
像差补偿
深度学习
生物细胞
图像分割
光学自由曲面面形检测技术
期刊论文
中国光学, 2017, 卷号: 第10卷, 页码: 283-299
作者:
杨甬英
;
刘东
;
俞本立
;
张磊
;
李劲松
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2019/04/17
自由曲面检测
干涉检测法
子孔径拼接
非旋转对称像差补偿
光刻物镜中主动透镜的变形和像差特性
期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 4, 页码: 261-268
作者:
巩岩
;
姚长呈
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2017/09/17
光学设计
主动光学
光刻物镜
热像差补偿
像散
折反射式零位补偿检验(续)
期刊论文
光子学报, 2016, 期号: 12, 页码: 96-99
作者:
张珑
;
胡文琦
;
郑列华
;
郝沛明
收藏
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2018/11/20
光学设计
折反射式补偿器
三级像差理论
非球面
零位补偿检验
大口径
大相对孔径
失调同轴三反消像散系统消彗差补偿
期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 10, 页码: 201-209
作者:
徐少雄
;
陈长征
;
张星祥
;
任建岳
收藏
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2016/07/06
成像系统
消彗差
补偿
三反消像散光学系统
矢量像差
主动光学
板条激光像散整形系统设计
期刊论文
光学学报, 2015, 卷号: 35, 期号: s2, 页码: 210-216
作者:
傅筱莹,杨平,何星
收藏
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2016/11/15
光学设计
像差补偿
光束整形
板条激光
光刻机投影物镜热像差主动补偿方法研究
期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 139-142
陈华
;
苏东奇
;
隋永新
;
章明朝
;
田伟
;
杨怀江
;
张巍
收藏
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2015/04/17
成像系统
热像差
主动补偿
光刻机
投影物镜
调节力对偏心调节机构中透镜面形的影响
期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 7, 页码: 291-298
张德福
;
李显凌
收藏
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2015/04/17
光学器件
深紫外光刻
投影物镜
像差补偿
偏心调节机构
调节力
面形
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