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硅微机械陀螺仪的稳定性研究 学位论文
北京: 中国科学院研究生院, 2018
作者:  刘楠
收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2018/06/15
扭转谐振式共面电极电场传感器研究 学位论文
博士, 北京: 中国科学院大学, 2018
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收藏  |  浏览/下载：53/0  |  提交时间：2018/06/02
基于MEMS的集成三轴电化学地震检波器 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院大学, 2018
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收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2018/06/04
射频微纳谐振器件的稳定性研究 学位论文
北京: 中国科学院大学, 2018
作者:  王凤翔
收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2018/05/24
无线无源眼压传感器及其检测系统研究 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院大学, 2018
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收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2018/06/05
聚酰亚胺柔性静电驱动MEMS继电器的制作 学位论文
: 大连理工大学, 2018
作者:  舒振
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/12/02
基于TiO2/SnO2复合薄膜的晶圆级低功耗集成式微型气体传感器 学位论文
2018
作者:  王梦雅
收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2019/11/26
应用于喷墨打印头的薄膜驱动器MEMS工艺研究 学位论文
2018
作者:  刘迪
收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/11/26
MEMS火工品微起爆器的设计与冲击性能研究 学位论文
2018
作者:  王磊
收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2019/11/26
Fabry-Perot干涉型光纤MEMS微压传感器研究 学位论文
2018
作者:  詹锋
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2019/11/26

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