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集成纳米结构的MEMS红外光源及其制备方法 专利
专利号: CN201610798788.4, 申请日期: 2018-10-09, 公开日期: 2017-02-01
作者:  王玮冰;  李超波;  陈大鹏;  明安杰;  刘卫兵
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悬浮结构的MEMS红外光源及其制备方法 专利
专利号: CN201610797210.7, 申请日期: 2018-06-29, 公开日期: 2017-01-04
作者:  陈大鹏;  刘卫兵;  明安杰;  谭秋林;  任耀辉
收藏  |  浏览/下载:18/0  |  提交时间:2019/03/05
基于湿法预释放结构的MEMS红外光源及其制备方法 专利
专利号: CN201610798783.1, 申请日期: 2018-06-22, 公开日期: 2016-12-07
作者:  陈大鹏;  明安杰;  刘卫兵;  孙西龙;  王玮冰
收藏  |  浏览/下载:8/0  |  提交时间:2019/03/05
OPTICAL OPTIMIZATION OF MEMS IR SOURCE FOR COMPACT NDIR GAS SENSORS 会议论文
作者:  Jijun Xiong;  Fu JY(傅剑宇);  Qiulin Tan;  Jing Zhang;  Liu WB(刘卫兵)
收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2019/05/14
面向 MEMS 红外光源的高辐射率纳米硅结构制备 期刊论文
仪表技术与传感器, 2017
作者:  明安杰;  谭秋林;  刘卫兵;  熊继军;  王玮冰
收藏  |  浏览/下载:27/0  |  提交时间:2018/05/14
面向红外光源的辐射自增强非晶碳薄膜性能 期刊论文
微纳电子技术, 2017
作者:  刘卫兵;  熊继军;  王玮冰;  毛海央;  孙西龙
收藏  |  浏览/下载:20/0  |  提交时间:2018/05/14
基于湿法预释放结构的MEMS红外光源 专利
专利号: CN201621033986.3, 申请日期: 2017-03-15,
作者:  王玮冰;  陈大鹏;  孙西龙;  刘卫兵;  明安杰
收藏  |  浏览/下载:12/0  |  提交时间:2018/02/05
悬浮结构的MEMS红外光源 专利
专利号: CN201621032847.9, 申请日期: 2017-03-15,
作者:  王玮冰;  陈大鹏;  任耀辉;  刘卫兵;  明安杰
收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2018/02/05
Development of MEMS IR source by compound release process with nano-scale silicon forest radiation layer 会议论文
作者:  Sun XL(孙西龙);  Chen DP(陈大鹏);  Wang WB(王玮冰);  Mao HY(毛海央);  Yang CY(杨成樾)
收藏  |  浏览/下载:16/0  |  提交时间:2017/05/18
Formaldehyde gas sensor based on TiO2 thin membrane integrated with nano silicon structure 期刊论文
OPTOELECTRONICS LETTERS, 2016
作者:  Ye L(叶丽);  Zheng X(郑轩);  Ming AJ(明安杰);  Chen FH(陈风华);  Sun XL(孙西龙)
收藏  |  浏览/下载:8/0  |  提交时间:2017/05/08


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