中国开放科研知识云: 检索

基于线阵CCD的高速光刻检焦技术 期刊论文
红外与激光工程, 2015, 卷号: 44, 期号: 8, 页码: 2389-2394
作者: 陈昌龙; 邸成良; 唐小萍; 胡松

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Intelligent control system based on ARM for lithography tool 会议论文
Proceedings of SPIE: 7th International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies: Design Manufacturing, and Testing of Micro- and Nano-Optical Devices, and Systems, 2014
作者: Chen, Changlong; Tang, Xiaoping; Hu, Song; Wang, Nan

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用于光刻投影物镜微调的压电陶瓷驱动器设计 期刊论文
压电与声光, 2013, 期号: 1, 页码: 94-97
作者: 胡博; 唐小萍; 胡松; 胡志成

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Research of communication mechanism based USB in wafer stage of lithography 会议论文
Proceedings of SPIE: 6th International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies: Design, Manufacturing, and Testing of Smart Structures, Micro- and Nano-Optical Devices, and Systems, 2012
作者: Sheng, Zhuang; Tang, Xiaoping; Li, Jinlong

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基于模糊PID的光刻机同步扫描控制 期刊论文
微纳电子技术, 2011, 卷号: 48, 期号: 9, 页码: 591-595+605
作者: 盛壮; 唐小萍; 胡松; 李兰兰; 谢飞

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Alignment for double-side deep-exposure lithography tool 会议论文
Proceedings of the SPIE - The International Society for Optical Engineering, 2010
作者: Ma Ping; Fu Xiaofang; Yang Chunli; Hu Song; Tang Xiaoping

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数字灰度投影光刻技术 期刊论文
微纳电子技术, 2009, 卷号: 46, 期号: 3, 页码: 181-185
作者: 赵立新; 严伟; 王建; 胡松; 唐小萍

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