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科研机构
微电子研究所 [6]
内容类型
会议论文 [6]
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2017 [5]
2016 [1]
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内容类型:会议论文
专题:微电子研究所
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An off-line roughness evaluation software and its application in quantitative calculation of wiggling based on low frequency power spectrum density method
会议论文
作者:
Zhao LJ(赵利俊)
;
Zhang LB(张利斌)
;
Dong LS(董立松)
;
Su XJ(苏晓菁)
;
Liu YS(刘艳松)
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2018/07/26
New alignment mark design structures for higher diffraction order wafer quality enhancement
会议论文
作者:
Wei YY(韦亚一)
;
Zhang LB(张利斌)
;
Dong LS(董立松)
;
Su XJ(苏晓菁)
;
Ye TC(叶甜春)
收藏
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2018/07/26
Improving the topography performance of ion implantation resist
会议论文
作者:
Wei YY(韦亚一)
;
Dong LS(董立松)
;
Chen WH(陈文辉)
;
Su XJ(苏晓菁)
收藏
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2018/07/26
Hotspots fixing flow in NTD process by using DTCO methodology at 10nm metal 1 layer
会议论文
作者:
Wei YY(韦亚一)
;
Ye TC(叶甜春)
;
Chen Y(陈颖)
;
Lin JX(林佳欣)
;
Dong LS(董立松)
收藏
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2018/07/26
Enhancing manufacturability of standard cells by using DTCO methodology
会议论文
作者:
Su XJ(苏晓菁)
;
Chen Y(陈颖)
;
Zhao LJ(赵利俊)
;
Su YJ(粟雅娟)
;
Wei YY(韦亚一)
收藏
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2018/07/26
Effective solution for the 14nm node multiple patterning lithography
会议论文
作者:
Su YJ(粟雅娟)
;
Yu LX(于丽贤)
;
Wei YY(韦亚一)
;
Su XJ(苏晓菁)
;
Song ZY(宋之洋)
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2017/05/19
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