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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 内容类型：会议论文    专题：大连理工大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 A method to improve uniformity of material removal of chemical mechanical polishing in LCOS process 会议论文 Key Engineering Materials, 2008-01-01 作者:  Sun, Yuhui;  Kang, Renke;  Guo, Dongming 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/27 Modeling of back pressure distribution on the wafer loaded in a multi-zone carrier in chemical mechanical polishing 会议论文 12th International Manufacturing Conference in China, Xian, PEOPLES R CHINA, 2006-09-21 作者:  Sun, Yuhui;  Kang, Renke;  Guo, Dongming 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/27 chemical mechanical polishing  material removal  back pressure  multi-zone carrier