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浏览/检索结果: 共7条，第1-7条 帮助 限定条件 内容类型：专利     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 一种栅介质/金属栅集成结构的制备方法 专利 专利号: CN101728257A, 申请日期: 2008-10-24, 公开日期: 2010-06-09, 2010-11-26 作者:  柴淑敏;  徐秋霞;  许高博 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2010/11/26 一种制备高介电常数栅介质薄膜铪硅氧氮的方法 专利 专利号: CN101447420, 申请日期: 2007-11-28, 公开日期: 2009-06-03, 2010-11-26 作者:  柴淑敏;  许高博;  徐秋霞 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2010/11/26 厚铝的高精度干法刻蚀方法 专利 专利号: CN1778993, 申请日期: 2004-11-19, 公开日期: 2006-05-31, 2010-11-26 作者:  杨荣;  李俊峰;  柴淑敏;  赵玉印;  蒋浩杰 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2010/11/26 一种适用于纳米器件制造的硅化物工艺 专利 专利号: CN1754860, 申请日期: 2004-09-29, 公开日期: 2006-04-05, 2010-11-26 作者:  柴淑敏;  徐秋霞;  王大海 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2010/11/26 采用锗或锑预无定形注入及清洗的钛硅化物方法 专利 专利号: CN1360341, 申请日期: 2000-12-19, 公开日期: 2002-07-24, 2010-11-26 作者:  钱鹤;  邢小平;  徐秋霞;  柴淑敏 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2010/11/26 一种钴－自对准硅化物的方法 专利 专利号: CN1360340, 申请日期: 2000-12-19, 公开日期: 2002-07-24, 2010-11-26 作者:  钱鹤;  柴淑敏;  徐秋霞;  季红浩 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2010/11/26 用于射频横向扩散场效应晶体管的自对准硅化物方法 专利 专利号: CN200410035088.7, 公开日期: 2005-11-02 作者:  韩郑生;  杨荣;  李俊峰;  海潮和;  徐秋霞 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2010/11/26