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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 内容类型：专利    专题：微电子研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 应力匹配的双材料微悬臂梁的制造方法 专利 专利号: CN201210024934.X, 申请日期: 2016-05-18, 公开日期: 2013-08-14 作者:  尚海平;  卢迪克;  李志刚;  陈大鹏;  刘瑞文 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2017/06/30 张应力 LPCVD SiO2膜的制造方法 专利 专利号: CN201110448748.4, 申请日期: 2016-04-20, 公开日期: 2013-07-03 作者:  刘瑞文;  陈大鹏;  卢狄克;  李志刚;  尚海平 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2017/06/30 采用KOH溶液的硅基MEMS器件湿法释放方法 专利 专利号: CN201210062362.4, 申请日期: 2015-12-09, 公开日期: 2013-09-18 作者:  卢狄克;  李志刚;  刘瑞文;  陈大鹏;  尚海平 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2016/06/17