应力匹配的双材料微悬臂梁的制造方法

	应力匹配的双材料微悬臂梁的制造方法
	尚海平; 卢迪克; 李志刚; 陈大鹏; 刘瑞文; 焦斌斌
	2016-05-18
著作权人	中国科学院微电子研究所
专利号	CN201210024934.X
国家	中国
文献子类	发明专利
英文摘要	本发明公开了一种应力匹配的双材料微悬臂梁的制造方法，包括：在衬底上采用LPCVD沉积应力为F1的压应力SiO2膜，F1＜0；对压应力SiO2膜注入掺杂剂，在其表面形成重掺杂SiO2膜退火使得压应力SiO2膜转变为应力为F2的张应力SiO2膜，F2＞0；控制淀积温度，在重掺杂SiO2膜上方形成具有应力为F3的Al薄膜，其中F3＝F2。依照本发明的应力匹配的双材料微悬臂梁的制造方法，其工艺简单、与传统微细加工工艺兼容，不但实现双材料悬臂梁的应力完全匹配，而且明显增强SiO2的抗XeF2腐蚀能力，最终使采用Al和SiO2双材料的、应力完全匹配的悬臂梁制作成功实现。
公开日期	2013-08-14
申请日期	2012-02-06
语种	中文
内容类型	专利
源URL	[http://159.226.55.106/handle/172511/16727]
专题	微电子研究所_集成电路先导工艺研发中心
作者单位	中国科学院微电子研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	尚海平,卢迪克,李志刚,等. 应力匹配的双材料微悬臂梁的制造方法. CN201210024934.X. 2016-05-18.