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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 学科主题：Engineering    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Design, Fabrication, and Characterization of a High-Heating-Efficiency 3-D Microheater for Catalytic Gas Sensors 期刊论文 JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS, 2012, 卷号: 21, 期号: 6, 页码: 1402-1409 Xu, L; Wang, YC; Zhou, H; Liu, YX; Li, T; Wang, YL 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2013/04/23 Anisotropic etching  catalytic gas sensors  concave-shaped membrane  power per active area (PPAA)  sol-gel  3-D microheaters