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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 发表日期：2020     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Batch Fabrication of Silicon Nanometer Tip Using Isotropic Inductively Coupled Plasma Etching 期刊论文 MICROMACHINES, 2020, 卷号: 11, 期号: 7, 页码: 638 作者:  Lihao Wang;   Meijie Liu ;   Junyuan Zhao ;   Jicong Zhao ;  Yinfang Zhu;  Jinling Yang;   Fuhua Yang 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2021/06/28 Dominant Loss Mechanisms of Whispering Gallery Mode RF-MEMS Resonators with Wide Frequency Coverage 期刊论文 Sensors, 2020, 卷号: 20, 期号: 24, 页码: 7017 作者:  Chen, Zeji;  Jia, Qianqian;  Liu, Wenli;  Yuan, Quan;  Zhu, Yinfang;  Yang, Jinling;  Yang, Fuhua 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2021/05/21 Characterization Method of Biological Functionalization Process of Silicon Surface Based on Cantilever Biosensor 期刊论文 INTEGRATED FERROELECTRICS, 2020, 卷号: 208, 期号: 1, 页码: 181-193 作者:  Jingjing Wang;  Li Zhang;  Houyong Cao;  Yinfang Zhu;  Jinling Yang ;  Erdan Gu 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2021/06/11