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内容类型
期刊论文 [82]
专利 [33]
会议论文 [14]
报纸 [1]
发表日期
2017 [130]
学科主题
材料科学与物理化学 [1]
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发表日期:2017
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75
80
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一种节能刮渣机
专利
申请日期: 2017-11-24, 公开日期: 2017-11-24
作者:
赵霞
;
李亚斌
;
雒和明
;
冯辉霞
;
李响
收藏
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2020/11/11
一种自对准双重图形成像方法
专利
专利号: CN201510218532.7, 申请日期: 2017-10-27, 公开日期: 2016-12-07
作者:
张利斌
;
韦亚一
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2018/04/25
七级衍射光栅结构及其制备方法、晶圆光刻对准方法
专利
专利号: CN201610140991.2, 申请日期: 2017-10-24, 公开日期: 2016-05-04
作者:
韦亚一
;
苏晓菁
;
董立松
;
张利斌
收藏
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2018/04/24
五级衍射光栅结构及其制备方法、晶圆光刻对准方法
专利
专利号: CN201610140129.1, 申请日期: 2017-10-24, 公开日期: 2016-05-25
作者:
苏晓菁
;
董立松
;
张利斌
;
韦亚一
收藏
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2018/04/25
Characteristic study of image-based alignment for increasing accuracy in lithography application
期刊论文
Journal of Vacuum Science & Technology B, 2017
作者:
Zhang LB(张利斌)
;
Dong LS(董立松)
;
Su XJ(苏晓菁)
;
Wei YY(韦亚一)
收藏
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2018/07/09
Slow positron annihilation studies on helium irradiated tungsten
期刊论文
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2017, 卷号: 406, 页码: 578-584
作者:
Wang, Zhiguang
;
Cui, Minghuan
;
Yao, Cunfeng
;
Shen, Tielong
;
Pang, Lilong
收藏
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浏览/下载:39/0
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提交时间:2018/05/31
Doppler broadening spectroscopy
Helium irradiation
Tungsten
Lattice disorder produced in GaN by He-ion implantation
期刊论文
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 2017, 卷号: 406, 页码: 543-547
作者:
Zhang, Li
;
Fang, Xuesong
;
Zhao, Sixiang
;
Jin, Jin
;
Huang, Yuxuan
收藏
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浏览/下载:38/0
  |  
提交时间:2018/05/31
He-ion implantation
GaN
Microstructure
Lattice disorder
Lattice strain
Slow positron annihilation studies on helium irradiated tungsten
会议论文
作者:
Cao, Xingzhong
;
Wang, Zhiguang
;
Zhang, Hongpeng
;
Sheng, Yanbin
;
Chang, Hailong
收藏
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2018/08/20
Doppler broadening spectroscopy
Helium irradiation
Tungsten
Lattice disorder produced in GaN by He-ion implantation
会议论文
作者:
Luo, Peng
;
Sheng, Yanbin
;
Zhang, Hongpeng
;
Zhang, Li
;
Fang, Xuesong
收藏
  |  
浏览/下载:37/0
  |  
提交时间:2018/08/20
He-ion implantation
GaN
Microstructure
Lattice disorder
Lattice strain
Lattice disorder produced in GaN by He-ion implantation
会议论文
作者:
Luo, Peng
;
Sheng, Yanbin
;
Zhang, Hongpeng
;
Zhang, Li
;
Fang, Xuesong
收藏
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浏览/下载:28/0
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提交时间:2018/08/20
He-ion implantation
GaN
Microstructure
Lattice disorder
Lattice strain
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