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Applications of RCWA on EUV mask optics 会议论文
作者:  Fan TA(范泰安);  Dong LS(董立松);  Wei YY(韦亚一)
收藏  |  浏览/下载:10/0  |  提交时间:2018/07/26
An off-line roughness evaluation software and its application in quantitative calculation of wiggling based on low frequency power spectrum density method 会议论文
作者:  Zhao LJ(赵利俊);  Zhang LB(张利斌);  Dong LS(董立松);  Su XJ(苏晓菁);  Liu YS(刘艳松)
收藏  |  浏览/下载:12/0  |  提交时间:2018/07/26
New alignment mark design structures for higher diffraction order wafer quality enhancement 会议论文
作者:  Wei YY(韦亚一);  Zhang LB(张利斌);  Dong LS(董立松);  Su XJ(苏晓菁);  Ye TC(叶甜春)
收藏  |  浏览/下载:8/0  |  提交时间:2018/07/26
Improving the topography performance of ion implantation resist 会议论文
作者:  Wei YY(韦亚一);  Dong LS(董立松);  Chen WH(陈文辉);  Su XJ(苏晓菁)
收藏  |  浏览/下载:8/0  |  提交时间:2018/07/26
Hotspots fixing flow in NTD process by using DTCO methodology at 10nm metal 1 layer 会议论文
作者:  Wei YY(韦亚一);  Ye TC(叶甜春);  Chen Y(陈颖);  Lin JX(林佳欣);  Dong LS(董立松)
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