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浏览/检索结果: 共16条，第1-10条 帮助 限定条件 发表日期：2016     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Wavefront aberration measurement method for a hyper-NA lithographic projection lens based on principal component analysis of an aerial image 期刊论文 Appl. Optics, 2016, 卷号: 55, 期号: 12, 页码: 3192 作者:  Zhu, Boer;  Wang, Xiangzhao;  Li, Sikun;  Yan, Guanyong;  Shen, Lina 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2017/12/25 Exact two-dimensional zonal wavefront reconstruction with high spatial resolution in lateral shearing interferometry 期刊论文 Opt. Commun., 2016, 卷号: 367, 页码: 264 作者:  Dai, Fengzhao;  Li, Jie;  Wang, Xiangzhao;  Bu, Yang 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2017/12/25 Wavefront aberration measurement method for a hyper-NA lithographic projection lens based on principal component analysis of an aerial image 期刊论文 Appl. Optics, 2016, 卷号: 55, 期号: 12, 页码: 3192 作者:  Zhu, Boer;  Wang, Xiangzhao;  Li, Sikun;  Yan, Guanyong;  Shen, Lina 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2017/12/25 Exact two-dimensional zonal wavefront reconstruction with high spatial resolution in lateral shearing interferometry 期刊论文 Opt. Commun., 2016, 卷号: 367, 页码: 264 作者:  Dai, Fengzhao;  Li, Jie;  Bu, Yang;  Wang, Xiangzhao 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2017/12/25 General analytical expressions for the impact of polarization aberration on lithographic imaging under linearly polarized illumination 期刊论文 J. Opt. Soc. Am. A-Opt. Image Sci. Vis., 2016, 卷号: 33, 期号: 6, 页码: 1112 作者:  Zhu, Boer;  Shen, Lina;  Wang, Xiangzhao;  Li, Sikun;  Yan, Guanyong 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2017/12/25 Radial period extraction method employing frequency measurement for quantitative collimation testing 期刊论文 Opt. Commun., 2016, 卷号: 358, 页码: 164 作者:  Li, Sikun;  Wang, Xiangzhao 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2017/12/25 Radial period extraction method employing frequency measurement for quantitative collimation testing 期刊论文 Opt. Commun., 2016, 卷号: 358, 页码: 164 作者:  Li, Sikun;  Wang, Xiangzhao 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2017/12/25 Pixelated source optimization for optical lithography via particle swarm optimization 期刊论文 J. Micro-Nanolithogr. MEMS MOEMS, 2016, 卷号: 15, 期号: 1 作者:  Wang, Lei;  Li, Sikun;  Wang, Xiangzhao;  Yan, Guanyong;  Yang, Chaoxing 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2017/12/25 Nonsubsampled contourlet transform method for optical fringe pattern analysis in profilometry and interferometry 期刊论文 Appl. Optics, 2016, 卷号: 55, 期号: 27, 页码: 7718 作者:  Li, Sikun;  Wang, Xiangzhao;  Tang, Feng;  Bu, Yang;  Sasaki, Osami 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2017/12/25 Pixelated source optimization for optical lithography via particle swarm optimization 期刊论文 J. Micro-Nanolithogr. MEMS MOEMS, 2016, 卷号: 15, 期号: 1 作者:  Li, Sikun;  Yang, Chaoxing;  Wang, Lei;  Yan, Guanyong;  Wang, Xiangzhao 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2017/12/25