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科研机构
长春光学精密机械与物... [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
2012 [1]
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发表日期:2012
专题:长春光学精密机械与物理研究所
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射频功率和衬底温度对碳化锗膜中sp3杂化碳原子的影响
期刊论文
红外与激光工程, 2012, 期号: 08, 页码: 2167-2172
王笑夷
;
高劲松
;
陈红
;
王彤彤
;
申振峰
;
郑宣鸣
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提交时间:2013/03/11
碳化锗
sp3杂化碳原子
射频功率
衬底温度
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