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射频功率和衬底温度对碳化锗膜中sp3杂化碳原子的影响 期刊论文
红外与激光工程, 2012, 期号: 08, 页码: 2167-2172
王笑夷; 高劲松; 陈红; 王彤彤; 申振峰; 郑宣鸣
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