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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2009    内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Study of polyimide as sacrificial layer with O2 plasma releasing for its application in MEMS capacitive FPA fabrication 其他 2009-01-01 Shenglin, Ma; Ying, Li; Xin, Sun; Xiaomei, Yu; Yufeng, Jin 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/12 Study of Polyimide as Sacrificial Layer with O(2) Plasma Releasing for Its Application in MEMS Capacitive FPA Fabrication 其他 2009-01-01 Ma, Shenglin; Li, Ying; Sun, Xin; Yu, Xiaomei; Jin, Yufeng 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/11/16 PRESSURE SENSOR