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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2002    内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Wafer level packaging for gyroscope by Au/Si eutectic bonding 其他 2002-01-01 Ruan, Y; Zhang, DC; Yang, ZC; Wang, M; Yu, XM 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/13 wafer level packaging  anodic bonding  Au/Si eutectic bonding  MEMS gyroscope  MEMS pressure sensor  TEMPERATURE  GOLD