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上海微系统与信息技术... [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
1991 [2]
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发表日期:1991
专题:上海微系统与信息技术研究所
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THE ANNEALING BEHAVIOR OF ARGON AND BORON DUAL-IMPLANTED SILICON AND ITS ELECTRICAL PERFORMANCE
期刊论文
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 1991, 卷号: 59, 期号: 0, 页码: 1045-1048
ZHU,JL
;
LI,XN
;
ZHOU,ZY
;
YU,ZW
;
WU,XH
;
LIN,X
;
BENG,RZ
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提交时间:2012/03/25
JUNCTIONS
ION
SHRINKAGE EFFECTS OF POLYIMIDE FILM UNDER ION-BEAM IRRADIATION
期刊论文
NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS, 1991, 卷号: 59, 页码: 1267-1270
XU, XL
;
YU, YH
;
LIN, ZX
;
CHEN, LZ
;
FANG, F
;
ZHOU, ZY
;
Zou, SC(邹世昌)
;
DU, GD
;
XIA, GQ
收藏
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提交时间:2012/03/25
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