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科研机构
上海光学精密机械研究... [5]
内容类型
学位论文 [5]
发表日期
2012 [1]
2009 [3]
学科主题
光学工程 [1]
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多光束激光并行直写光栅装置
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2012
作者:
曹武刚
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提交时间:2016/11/28
多光束,高精度,光栅,激光直写,伺服聚焦
分布式聚焦伺服系统的研究
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009
作者:
陈璐
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2016/11/28
聚焦伺服
分布式控制系统
逆系统
嵌入式处理器
虚拟仪器
光学薄膜弱吸收快速检测技术及装置
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009
作者:
陶春先
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浏览/下载:41/0
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提交时间:2016/11/28
光学薄膜
吸收测量
光热效应
表面热透镜
图像锁相
无掩模激光直写纳米光刻机
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009
作者:
范永涛
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浏览/下载:160/0
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提交时间:2016/11/28
激光直写
无掩模光刻
微纳加工
自动聚焦
功率标定
调平聚焦伺服控制系统的优化设计
学位论文
作者:
宗永红
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提交时间:2018/12/26
光栅
grating
调平调焦
leveling and focusing
差动像散
differential astigmatism
反馈控制
feedback control
误差分析与校正
error analysis and correction
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