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上海光学精密机械研... [82]
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学位论文 [42]
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会议论文 [9]
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2016 [16]
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专题:上海光学精密机械研究所
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高NA光刻机投影物镜偏振像差检测技术研究
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
沈丽娜
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浏览/下载:143/0
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提交时间:2016/11/28
光刻机
矢量成像模型
偏振像差
泡利-泽尼克系数
偏振像差检测
1.2μm波段脉冲光纤激光器研究
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
杨学宗
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浏览/下载:166/0
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提交时间:2016/11/28
光纤激光器
受激拉曼散射
钬掺杂ZBLAN光纤
锁模
调Q
基于液晶波片的相位延迟量和快轴方位角测量技术研究
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
顾帅妍
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浏览/下载:43/0
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提交时间:2016/11/28
偏振
液晶波片
相位延迟量
快轴方位角
校准
时空聚焦飞秒激光脉冲的特性与应用研究
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
王朝晖
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浏览/下载:252/0
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提交时间:2016/11/28
飞秒激光脉冲
时空聚焦
干涉测量
等离子体
纳米光栅
高效率高能量人眼安全全固态激光器技术研究
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
于真真
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浏览/下载:89/0
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提交时间:2016/11/28
全固态激光器
人眼安全
Er:YAG
声光调Q
被动调Q
飞秒强激光场中的氢分子电离、解离及分子高次谐波研究
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
彭鹏
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浏览/下载:50/0
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提交时间:2016/11/28
符合动量测量
分子电离
分子解离
高次谐波
分子取向
Simplified Transparent Conductive Oxides-Based UltraBroadband Absorber Design
期刊论文
J. Lightwave Technol., 2016, 卷号: 34, 期号: 4, 页码: 1354
作者:
Bai, Lihua
;
Liu, Xiao
;
Liu, Chengpu
;
Cui, Xudong
;
Zhang, Qing
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2017/12/25
Wavefront aberration measurement method for a hyper-NA lithographic projection lens based on principal component analysis of an aerial image
期刊论文
Appl. Optics, 2016, 卷号: 55, 期号: 12, 页码: 3192
作者:
Zhu, Boer
;
Wang, Xiangzhao
;
Li, Sikun
;
Yan, Guanyong
;
Shen, Lina
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2017/12/25
Aberration Measurement Method for Hyper-NA Lithographic Projection Lens
期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 1, 页码: 112002
作者:
Zhu BE(诸波尔)
;
Wang XC(王向朝)
;
Li SK(李思坤)
;
Yan GY(闫观勇)
;
Shen LN(沈丽娜)
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2017/12/25
Wavefront aberration measurement method for a hyper-NA lithographic projection lens based on principal component analysis of an aerial image
期刊论文
Appl. Optics, 2016, 卷号: 55, 期号: 12, 页码: 3192
作者:
Zhu, Boer
;
Wang, Xiangzhao
;
Li, Sikun
;
Yan, Guanyong
;
Shen, Lina
收藏
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2017/12/25
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