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| 光栅剪切干涉波前测量技术研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者: 李杰
  收藏 | 浏览/下载：216/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 高NA光刻机投影物镜偏振像差检测技术研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者: 沈丽娜
收藏 | 浏览/下载：148/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 高精度平面子孔径拼接算法研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者: 朱鹏辉
收藏 | 浏览/下载：26/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 相干衍射成像在激光驱动器中的应用研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者: 潘兴臣
收藏 | 浏览/下载：80/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者: 方伟
收藏 | 浏览/下载：124/0 | 提交时间：2016/11/28
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| Measurement of Wavefront Aberration of Extreme Ultraviolet Lithographic Projection Lens Based on Ptychography 期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 10, 页码: 1012002
作者: Meng ZJ(孟泽江); Li J(李杰); Zhu PH(朱鹏辉); Wang XC(王向朝); Tang F(唐锋)
收藏 | 浏览/下载：13/0 | 提交时间：2017/12/25 |
| Measuring Method of Polarization Aberration Based on Vector Aerial Image of Alternating Phase-shift Mask 期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 8, 页码: 811003
作者: Li SK(李思坤); Zhang H(张恒); Meng ZJ(孟泽江); Zhu BE(诸波尔); Yan GY(闫观勇)
收藏 | 浏览/下载：11/0 | 提交时间：2017/12/25 |
| 空间相干性调制光栅剪切干涉波像差检测技术研究 会议论文
作者: 彭常哲; 王向朝; 唐锋
收藏 | 浏览/下载：10/0 | 提交时间：2017/12/25 |
| 空间相干性调制光栅剪切干涉波像差检测技术研究 会议论文
作者: 彭常哲; 唐锋; 王向朝
收藏 | 浏览/下载：19/0 | 提交时间：2017/12/25 |
| Aberration Measurement Method for Hyper-NA Lithographic Projection Lens 期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 1, 页码: 112002
作者: Zhu BE(诸波尔); Wang XC(王向朝); Li SK(李思坤); Yan GY(闫观勇); Shen LN(沈丽娜)
收藏 | 浏览/下载：20/0 | 提交时间：2017/12/25 |
