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Chemical Mechanical Polishing of Ge2Sb2Te5 Using Abrasive-Free Solutions of Iron Trichloride 期刊论文
CHINESE PHYSICS LETTERS, 2012, 卷号: 29, 期号: 3, 页码: 38301
Yan, WX; Wang, LY; Zhang, ZF; He, AD; Zhong, M; Liu, WL; Wu, LC; Song, ZT
收藏  |  浏览/下载：67/0  |  提交时间：2013/04/17
Mechanism of Ge2Sb2Te5 chemical mechanical polishing 期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2012, 卷号: 258, 期号: 12, 页码: 5185-5190
Wang, LY; Song, ZT; Zhong, M; Liu, WL; Yan, WX; Qin, F; He, AD; Liu, B
收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2013/04/17
CMP  GST  Mechanism  
Chemical mechanical polishing of stainless steel foil as flexible substrate 期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2012, 卷号: 258, 期号: 15, 页码: 5798-5802
Hu, XK; Song, ZT; Liu, WL; Qin, F; Zhang, ZF; Wang, HB
收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2013/04/17
Mechanism of Ge2Sb2Te5 chemical mechanical polishing 期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2012, 卷号: 258, 期号: 12, 页码: 5185-5190
Wang, LY; song, zt(重点实验室）; Zhong, M; Liu, WL; Yan, WX; Qin, F; He, AD; Liu, B(重点实验室）
收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2013/05/10
Chemical mechanical polishing of stainless steel foil as flexible substrate 期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2012, 卷号: 258, 期号: 15, 页码: 5798-5802
Hu, XK; song, zt(重点实验室）; Liu, WL; Qin, F; Zhang, ZF; Wang, HB
收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2013/05/10
Chemical Mechanical Polishing of Ge2Sb2Te5 Using Abrasive-Free Solutions of Iron Trichloride 期刊论文
CHINESE PHYSICS LETTERS, 2012, 卷号: 29, 期号: 3, 页码: 38301
Yan, WX; Wang, LY; Zhang, ZF; He, AD; Zhong, M; Liu, WL; Wu, LC; song, zt(重点实验室）
收藏  |  浏览/下载：46/0  |  提交时间：2013/05/10
聚苯乙烯/氧化硅核壳型复合磨料的制备及其在铜化学机械抛光的应用研究 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2011
张磊
收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2013/04/24
Influence of pH and abrasive concentration on polishing rate of amorphous Ge2Sb2Te5 film in chemical mechanical polishing 期刊论文
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2011, 卷号: 29, 期号: 1, 页码: 11020
Zhang,ZF; Liu,WL; Song,ZT
收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2012/04/10
Preparation of monodisperse polystyrene/silica core-shell nano-composite abrasive with controllable size and its chemical mechanical polishing performance on copper 期刊论文
APPLIED SURFACE SCIENCE, 2011, 卷号: 258, 期号: 3, 页码: 1217-1224
Zhang,L; Wang,HB; Zhang,ZF; Qin,F; Liu,WL; Song,ZT
收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2012/04/10
Effect of mechanical process parameters on friction behavior and material removal during sapphire chemical mechanical polishing 期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2011, 卷号: 88, 期号: 9, 页码: 3020-3023
Zhang,ZF; Yan,WX; Zhang,L; Liu,WL; Song,ZT
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2012/04/10

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