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上海微系统与信息技... [22]
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期刊论文 [19]
学位论文 [3]
发表日期
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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Quad-cantilever microsensors with a low-cost single-sided micro-machining technique for trace chemical vapor detection
期刊论文
MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2010, 卷号: 87, 期号: 11, 页码: 2317-2322
Yang, YL
;
Chen, Y
;
Xu, PC
;
Li, XX
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提交时间:2011/12/17
PIEZORESISTIVE READ-OUT
SENSOR
MICROCANTILEVERS
TMAH/IPA
MODEL
Resonant-cantilever bio/chemical sensors with an integrated heater for both resonance exciting optimization and sensing repeatability enhancement
期刊论文
JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2009, 卷号: 19, 期号: 4, 页码: 45023-45023
Yu, HT
;
Li, XX
;
Gan, XH
;
Liu, YJ
;
Liu, X
;
Xu, PC
;
Li, JG
;
Liu, M
收藏
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2011/12/17
FORCE MICROSCOPY
FREQUENCY
MICROCANTILEVERS
EXCITATION
DEPENDENCE
一种圆片级硅三层键合的三明治加速度传感器
期刊论文
传感技术学报, 2008, 期号: 02
徐玮鹤
;
林友玲
;
车录锋
;
李玉芳
;
熊斌
;
王跃林
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2012/01/06
微机械探卡
芯片测试
悬臂梁
接触电阻
采用两级检测的MIMO OFDM空频变换方案
期刊论文
应用科学学报, 2008, 期号: 05
周霁婷
;
杨秀梅
;
熊勇
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2012/01/06
悬臂梁
插入损耗
隔离度
ANSYS软件
阈值电压
Lasing cavities and ultra-fast switch based on self-collimation of photonic crystal
期刊论文
JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 2008, 卷号: 41, 期号: 11, 页码: 115108-115108
Zhao, DY
;
Zhou, CH
;
Gong, Q
;
Jiang, XY
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2012/03/24
WAVE-GUIDES
BENDS
BEAMS
Resonance-mode effect on microcantilever mass-sensing performance in air
期刊论文
REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 2008, 卷号: 79, 期号: 7, 页码: 74301-74301
Xia, XY
;
Li, XX
收藏
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2011/12/17
DAMPING CHARACTERISTICS
CANTILEVERS
RESONATORS
OSCILLATORS
PRESSURE
VACUUM
A heater-integrated scanning probe microscopy probe array with different tip radii for study of micro-nanosize effects on silicon-tip/polymer-film friction
期刊论文
REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, 2008, 卷号: 79, 期号: 3, 页码: 33701-33701
Bao, HF
;
Li, XX
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2011/12/17
ATOMIC-FORCE MICROSCOPE
GLASS-TRANSITION TEMPERATURE
POLYMER-FILMS
POLY(METHYL METHACRYLATE)
CANTILEVERS
THICKNESS
DYNAMICS
SiO_2/Si上直流磁控反应溅射制备AlN薄膜
期刊论文
材料科学与工程学报, 2007, 期号: 01
范克彬
;
沈伟东
;
王立春
;
熊斌
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2012/01/06
原子力显微镜
微纳结构
硬件
软件
悬臂梁
力学测试
Photonic crystal Mach-Zehnder interferometer based on self-collimation
期刊论文
APPLIED PHYSICS LETTERS, 2007, 卷号: 90, 期号: 23, 页码: 231114-231114
Zhao, DY
;
Zhang, J
;
Yao, PJ
;
Jiang, XY
;
Chen, XY
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2012/03/24
WAVE-GUIDES
BEAMS
SLABS
EFFICIENCY
SPLITTERS
BENDS
Doubly clamped nanobeam as a piezoresistive mass sensor
期刊论文
2007 IEEE SENSORS, VOLS 1-3, 2007, 页码: 1168-1171
Jiao, JW
;
Zhao, QB
;
Yang, H
;
Li, T
;
Li, XX
;
Wang, YL
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2011/12/17
FORCE MICROSCOPE
CANTILEVERS
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