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| 新型三明治MEMS加速度传感器的设计、制作与测试 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2012
周晓峰
  收藏 | 浏览/下载：121/0 | 提交时间：2013/04/24
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| 三明治电容式MEMS加速度传感器真空封装研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2012
蔡梅妮
收藏 | 浏览/下载：145/0 | 提交时间：2013/04/24
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| 镁电池负极材料的研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2012
史永刚
收藏 | 浏览/下载：83/0 | 提交时间：2013/04/24
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| 三明治电容式MEMS加速度计的器件级真空封装 期刊论文
半导体技术, 2012, 期号: 10, 页码: 790-794+814
蔡梅妮; 车录锋; 林友玲; 周晓峰; 黎晓林; 吴健
收藏 | 浏览/下载：58/0 | 提交时间：2013/02/22
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| 用于器件级真空封装的MEMS加速度传感器的设计与制作 期刊论文
传感器与微系统, 2012, 期号: 12, 页码: 107-110+113
蔡梅妮; 林友玲; 车录锋; 苏荣涛; 周晓峰; 黎晓林
收藏 | 浏览/下载：22/0 | 提交时间：2013/02/22
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| 基于碳膜的柔性神经微电极阵列加工 期刊论文
纳米技术与精密工程, 2012, 期号: 2, 页码: 184-188
朱壮晖; 周亮; 张华; 李刚; 金庆辉; 赵建龙
收藏 | 浏览/下载：32/0 | 提交时间：2013/02/22
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| 全方位抗过载的压阻式三轴加速度计 期刊论文
传感器与微系统, 2012, 期号: 11, 页码: 87-90
王军诚; 吴艳红; 孙科; 杨恒; 李昕欣
收藏 | 浏览/下载：60/0 | 提交时间：2013/02/22
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| 基于XeF_2硅刻蚀工艺的低阻硅衬底低损耗共面波导 期刊论文
固体电子学研究与进展, 2012, 期号: 5, 页码: 456-462
刘米丰; 熊斌; 徐德辉; 王跃林
收藏 | 浏览/下载：33/0 | 提交时间：2013/02/22
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| 微创手术式硅微机械加工(MISSM)技术 期刊论文
传感技术学报, 2012, 期号: 7, 页码: 885-890
王家畴; 刘洁丹; 李昕欣
收藏 | 浏览/下载：17/0 | 提交时间：2013/02/22
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| 基于金硅原电池保护电容加速度计的制作 期刊论文
传感器与微系统, 2012, 期号: 1, 页码: 133-136
王辉; 吴燕红; 杨恒
收藏 | 浏览/下载：26/0 | 提交时间：2013/02/22
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