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| 新型三明治MEMS加速度传感器的设计、制作与测试 学位论文 博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2012 周晓峰 收藏  |  浏览/下载:121/0  |  提交时间:2013/04/24
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| 平面内谐振式微悬臂梁生化传感器的设计与制造 期刊论文 传感技术学报, 2012, 期号: 7, 页码: 869-875 俞锋; 李昕欣; 于海涛 收藏  |  浏览/下载:13/0  |  提交时间:2013/02/22
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| 微悬臂谐振传感器闭环接口和嵌入式频率电路 期刊论文 微纳电子技术, 2010, 期号: 06 甘小华; 刘民; 于海涛; 许鹏程; 李昕欣 收藏  |  浏览/下载:17/0  |  提交时间:2012/01/06
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| 侧壁压阻式力传感器的研制与标定 期刊论文 纳米技术与精密工程, 2010, 期号: 03 陈涛; 孙立宁; 陈立国; 荣伟彬; 李昕欣; 王家畴 收藏  |  浏览/下载:16/0  |  提交时间:2012/01/06
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| MEMS谐振式微悬臂梁生化传感器闭环接口和嵌入式频率读出电路研究 学位论文 硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2010 甘小华 收藏  |  浏览/下载:35/0  |  提交时间:2012/03/06
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| 提高谐振式超薄悬臂梁传感器灵敏度的表面应力敏感方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN101477029, 申请日期: 2009-07-08, 公开日期: 2009-07-08 夏晓媛; 李昕欣 收藏  |  浏览/下载:6/0  |  提交时间:2012/01/06 |
| 微纳机电谐振结构与传感器研究 学位论文 博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2009 夏晓媛 收藏  |  浏览/下载:49/0  |  提交时间:2012/03/06
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| 集成硅微机械谐振式悬臂梁传感器与快速生化检测 学位论文 博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2009 于海涛 收藏  |  浏览/下载:23/0  |  提交时间:2012/03/06
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| 基于自停止腐蚀的双面梁-质量块结构加速度传感器研究 学位论文 硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2008 肖飞 收藏  |  浏览/下载:24/0  |  提交时间:2012/03/06
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| 生化有害物质形成灾害的典型应急监控演示系统 成果 鉴定: 无, 2008 封松林; 资剑; 陆卫; 李毅; 李昕欣; 程建功; 刘海涛; 金庆辉; 程振兴; 赵建龙 收藏  |  浏览/下载:28/0  |  提交时间:2013/04/12 |