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上海微系统与信息技术... [2]
内容类型
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2008 [1]
2006 [1]
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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基于自停止腐蚀的双面梁-质量块结构加速度传感器研究
学位论文
硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2008
肖飞
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2012/03/06
微电子机械系统
加速度传感器
自停止腐蚀
硅-硅键合
太赫兹量子级联激光器波导数值模拟
期刊论文
功能材料与器件学报, 2006, 期号: 03
何晓勇
;
曹俊诚
;
封松林
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2012/01/06
立方相Mg_xZn_(1-x)O薄膜
退火
晶体结构
光学性质
电学性质
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